隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,半導體封裝技術(shù)也在不斷創(chuàng)新和改進,以滿足高性能、小型化、高頻化、低功耗、以及低成本的要求。等離子處理技術(shù)作為一種高效、環(huán)保的解決方案,能夠滿足先進半導體封裝的要求,被廣泛應用于半導體芯片DB/WB工藝、Flip Chip (FC)倒裝工藝中。芯片鍵合(DieBonding)是指將晶圓上切割下來的單個芯片固定到封裝基板上的過程。其目的在于為芯片提供一個穩(wěn)定的支撐,并確保芯片與外部電路之間的電氣和機械連接。常用的方法有樹脂粘結(jié)、共晶焊接、鉛錫合金焊接等。在點膠裝片前,基板上如果存在污染物,銀膠容易形成圓球狀,降低芯片粘結(jié)度。因此,在DB工藝前,需要進行等離子處理,提高基板表面的親水性和粗糙度,有利于銀膠的平鋪及芯片粘貼,提高封裝的可靠性和耐久性。在提升點膠質(zhì)量的同時可以節(jié)省銀膠使用量,降低成本。等離子處理是一種常用的表面處理技術(shù),通過在介質(zhì)中產(chǎn)生等離子體,利用等離子體的高能離子轟擊表面。重慶等離子清洗機廠家電話
等離子清洗機對氮化硅的處理效果是十分明顯的,在未處理前,石墨舟表面的氮化硅殘質(zhì)顏色清晰,與石墨舟本質(zhì)具有明顯的差別,且氮化硅殘質(zhì)遍布舟片內(nèi)外;經(jīng)等離子體處理后,憑目視觀測,石墨舟內(nèi)外表面已無明顯的氮化硅殘質(zhì),原先殘留的部分其顏色已恢復為本質(zhì)顏色。等離子清洗機處理石墨舟氮化硅殘質(zhì)具有以下優(yōu)勢:1.高效去除:等離子清洗機能夠利用高能離子束有效地去除石墨舟表面的氮化硅薄膜。與傳統(tǒng)的濕法清洗相比,等離子清洗的去除效率更高,可以縮短清洗時間。2.不損傷表面:等離子清洗過程是一個物理和化學相結(jié)合的過程,可以精確控制對石墨舟表面的作用力度,因此不會對石墨舟表面造成損傷。3.環(huán)保安全:等離子清洗機在清洗過程中不使用任何有害的化學物質(zhì),避免了廢液的產(chǎn)生和處理問題,對環(huán)境友好,且操作安全,還可以降低清洗成本。4.易于自動化和集成:等離子清洗機可以與生產(chǎn)線上的其他設備集成,實現(xiàn)自動化生產(chǎn),提高生產(chǎn)效率。5.廣泛的應用前景:隨著全球?qū)G色能源的需求不斷增加,光伏行業(yè)正在快速發(fā)展。等離子清洗機作為一種高效、環(huán)保的清洗技術(shù),將在光伏行業(yè)的石墨舟清洗領(lǐng)域發(fā)揮更大的作用。四川低溫等離子清洗機功能使用等離子清洗機對汽車門板進行預處理,可以去除表面污染物和殘留物,提高表面的清潔度和活性。
在線式真空等離子清洗機的優(yōu)勢:??載臺升降可自由按料盒每層的間距設定;??載臺實現(xiàn)寬度定位,電機根據(jù)程序參數(shù)進行料盒寬度調(diào)節(jié);??推料舍片具有預防卡料及檢測功能,根據(jù)產(chǎn)品寬度切換配方進行傳送;??同時每次清洗4片,雙工位腔體平臺交替,實現(xiàn)清洗與上下料的同步進行,減少等待時間,提高產(chǎn)能;??一體式電極板設計能在制程腔體產(chǎn)生均一密度等離子體。在線片式真空等離子清洗機產(chǎn)品原理:通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)進行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
塑料制品基本材料主要為聚丙烯(PP)、聚已烯(PE)、聚氣乙烯(PVC)、聚酯(PET)等,其表面特性因分子結(jié)構(gòu)基材的極性基團,結(jié)晶程度和塑料的化學穩(wěn)定性等不同而有很大的差異,這些因素對印刷油墨層的粘附牢度影響很大。對屬于極性結(jié)構(gòu)的PS(聚苯乙烯)、PVC,印刷前不雪要做表面預處理,但對于其表面結(jié)構(gòu)是非極性的PP、PE、PET等,其化學穩(wěn)定性極高,不易被大多數(shù)油墨溶劑所滲透和溶解,與油墨印刷的結(jié)合牢度很低,所以在印刷之前必須經(jīng)過等離子體表面處理,使塑料表層活化生成新的化學鍵使表面粗化,從而提高油墨與塑料表面的結(jié)合粘附牢度;同時制造某些粒料過程中,按不同要求摻入了一定數(shù)量的助劑,附加劑,下開口劑,當吸膜定型后,這些助劑就浮在材料表面,形成肉眼看不見油層,這些油層對印刷是完全不利的,它使塑料表面不易粘合,附著力下降,當?shù)入x子體與塑料表面相遇時,產(chǎn)生了清潔、活化、刻蝕作用,表面得到了清潔,去除了碳化氫類污物,如油脂、輔助添加劑等,根據(jù)材料成分,其表面分子鏈結(jié)構(gòu)得到了改變。建立了羥基、羧基等自由基團,這些基團對各種涂敷材料具有促進其粘合的作用,在粘合和油漆應用時得到了優(yōu)化。在光伏電池制程中,等離子表面處理可用于玻璃基板表面活化,陽極表面改性,涂保護膜前處理等。
等離子清洗機在隱形眼睛中清洗的應用:目前使用的隱形眼鏡是用有機玻璃(聚甲基丙烯酸甲酪)制成的,它具有折射率高、硬度合適、生物親和性好等優(yōu)點,但它存在親水性差的缺點,長期佩戴會造成眼睛不適,另外它對氧氣的通透性較差,易造成佩戴時引起眼睛發(fā)炎等問題。研究發(fā)現(xiàn)使用等離子體清洗技術(shù)不僅可以去除隱形眼鏡表面的污垢,而且利用乙炔、氮氣和水形成的等離子體聚合物鍍在隱形眼鏡的表面形成--個薄膜,可以改善它的親水性、保濕性和透氣性。用等離子體清洗不僅可將隱形眼鏡上的各種污垢清洗干凈,而且具有對材料性能影響小,可在較長一段時間里有效減少被污染可能的優(yōu)點。等離子處理通過在介質(zhì)中產(chǎn)生等離子體,利用等離子體的高能離子轟擊表面,從而改變表面性質(zhì)。遼寧低溫等離子清洗機常用知識
真空等離子清洗設備可以清洗各種材料的物體表面,包括金屬、塑料、陶瓷、玻璃等。重慶等離子清洗機廠家電話
芯片在引線框架基板上粘貼后,要經(jīng)過高溫使之固化。如果芯片表面存在污染物,就會影響引線與芯片及基板間的焊接效果,使鍵合不完全或粘附性差、強度低。在WB工藝前使用等離子處理,可以顯著提高其表面附著力,從而提高鍵合強度及鍵合引線的拉力均勻性,提升WB工藝質(zhì)量。在FlipChip(FC)倒裝工藝中,將稱為“焊球(SolderBall)”的小凸塊附著在芯片焊盤上。其次,將芯片頂面朝下放置在基板上,完成芯片與基板的連接后,通常需要在在芯片與基板之間使用填充膠進行加固,以提高倒裝工藝的穩(wěn)定性。通過等離子清洗可以改善芯片和基板表面潤濕性,提高其表面附著力,進而影響底部填充膠的流動性,使填充膠可以更好地與基板和芯片粘結(jié),從而達到加固的目的,提高倒裝工藝可靠性。重慶等離子清洗機廠家電話