超薄HfO2薄膜XRR測試引言隨著晶體管節(jié)點技術(shù)的發(fā)展,薄膜厚度越來越薄。比如高-柵介電薄膜HfO2的厚度往往小于2nm。在該技術(shù)節(jié)點的a20范圍內(nèi)。超薄膜的均勻性是制備Hf基柵氧化物的主要工藝難題之一。為了控制超薄HfO2薄膜的厚度和密度,XRR是的測量技術(shù)。由于具有出色的適應能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶,都可簡單快捷、不出錯地對配置進行更改。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設計實現(xiàn)的:配置儀器時,免工具、免準直,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持。不止如此——布魯克提供基于NIST標樣剛玉(SRM1976)的準直保證。目前,在峰位、強度和分辨率方面,市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE。候選材料鑒別(PMI) 為常見,這是因為對其原子結(jié)構(gòu)十分靈敏,而這無法通過元素分析技術(shù)實現(xiàn)。布魯克XRD衍射儀檢測
X射線粉末衍射(XRPD)技術(shù)是重要的材料表征工具之一。粉末衍射圖中的許多信息,直接源于物相的原子排列。在D8ADVANCE和DIFFRAC.SUITE軟件的支持下,您將能簡單地實施常見的XRPD方法:鑒別晶相和非晶相,并測定樣品純度對多相混合物的晶相和非晶相進行定量分析微觀結(jié)構(gòu)分析(微晶尺寸、微應變、無序…)熱處理或加工制造組件產(chǎn)生的大量殘余應力織構(gòu)(擇優(yōu)取向)分析指標化、從頭晶體結(jié)構(gòu)測定和晶體結(jié)構(gòu)精修,由于具有出色的適應能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。深圳微觀應變分析XRD衍射儀推薦咨詢D8測角儀巨有市場超前地精確度,為布魯克獨有的準直保證奠定了基礎。
薄膜和涂層分析采用的原理與XRPD相同,不過進一步提供了光束調(diào)節(jié)和角度控制功能。典型示例包括但不限于相鑒定、晶體質(zhì)量、殘余應力、織構(gòu)分析、厚度測定以及組分與應變分析。在對薄膜和涂層進行分析時,著重對厚度在nm和μm之間的層狀材料進行特性分析(從非晶和多晶涂層到外延生長薄膜)。D8ADVANCE和DIFFRAC.SUITE軟件可進行以下高質(zhì)量的薄膜分析:掠入射衍射X射線反射法高分辨率X射線衍射倒易空間掃描。由于具有出色的適應能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶,都可簡單快捷、不出錯地對配置進行更改。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設計實現(xiàn)的:配置儀器時,免工具、免準直,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持。
粉煤灰中晶態(tài)礦相及非晶相定量分析引言粉煤灰,是從煤燃燒后的煙氣中收捕下來的細灰,粉煤灰是燃煤電廠排出的主要固體廢物。粉煤灰是我國當前排量較大的工業(yè)廢渣之一。大量的粉煤灰不加處理,就會產(chǎn)生揚塵,污染大氣;若排入水系會造成河流淤塞,而其中的有毒化學物質(zhì)還會對人體和生物造成危害。所以,粉煤灰的再利用一直都是關(guān)注的熱點。比如,已用于制水泥及制各種輕質(zhì)建材等。要合理高效的利用粉煤灰,則需要對其元素和礦相組成有詳細的了解。粉煤灰的礦相主要莫來石、石英以及大量的非晶態(tài)。利用XRD測定非晶態(tài)通常采用加入特定含量的標準物質(zhì)以精確的計算非晶相物質(zhì)的含量。在實驗室中這個方法是可行的,但在實際生產(chǎn)和快速檢測過程中,這個方法就現(xiàn)實。目前一種全新的PONKS(PartialOrNoKnowCrystalStructure)方法*,解決了這一難題,實現(xiàn)了粉煤灰樣品的無標樣定量分析。在DIFFRAC.EVA中,對塑料薄膜進行WAXS測量分析。然后塑料纖維的擇優(yōu)取向便顯而易見了。
獲得的TRIO光路簡化了D8ADVANCE的操作,使之適用于多種應用和樣品類型。為便于用戶使用,該系統(tǒng)提供了自動化電動切換功能,可在多達6種不同的光束幾何之間進行自動切換。系統(tǒng)無需人工干預,即可在三個光路之間切換:用于粉末分析的Bragg-Brentano聚焦幾何用于毛細管、GID和XRR的平行光束Kα1,2幾何用于外延薄膜的高分辨率平行光束Kα1幾何它非常適合在環(huán)境條件或非環(huán)境條件下對所有樣品類型進行分析,其中包括粉末、塊狀材料、纖維、片材和薄膜(非晶、多晶和外延)。而有了UMC樣品臺的加持,D8 DISCOVER更是成為了電動位移和重量能力方面的同類較好。江蘇物相定量分析XRD衍射儀配件
無論面對何種應用,DIFFRAC.DAVINCI都會指引用戶選擇較好的儀器配置。布魯克XRD衍射儀檢測
D8ADVANCEPlus是D8ADVANCE的又一版本,是面向多用途、多用戶實驗室的X射線平臺。它可理想地滿足您對所有樣品類型的需求,包括粉末、塊狀材料、纖維、片材和薄膜(非晶、多晶和外延):典型的X射線粉末衍射(XRD)對分布函數(shù)(PDF)分析小角X射線散射(SAXS)和廣角X射線散射(WAXS)X射線反射率(XRR)和高分辨XRD(搖擺曲線,倒易空間掃描)環(huán)境條件下和非環(huán)境條件下該系統(tǒng)的一大優(yōu)勢在于它能夠在多達6種不同的光束幾何之間進行切換:從用于粉末的Bragg-Brentano聚焦幾何到用于外延薄膜的高分辨率平行光束Kα1幾何以及兩者之間的切換。您只需按下按鈕,整個軟件盡在掌握。布魯克XRD衍射儀檢測