柔性電極芯片在腦機(jī)接口中的關(guān)鍵加工工藝：腦機(jī)接口技術(shù)對(duì)柔性電極的超薄化、生物相容性及信號(hào)穩(wěn)定性提出極高要求。公司利用MEMS薄膜沉積與光刻技術(shù)，在聚酰亞胺（PI）或PDMS柔性基板上制備厚度<10μm的金屬電極陣列，電極間距可達(dá)20μm，實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)神經(jīng)元電信號(hào)的精細(xì)記錄。通過(guò)濕法刻蝕形成柔性支撐結(jié)構(gòu)，配合邊緣圓潤(rùn)化處理，將手術(shù)植入時(shí)的腦組織損傷風(fēng)險(xiǎn)降低60%以上。表面涂層采用聚乙二醇（PEG）與氮化硅復(fù)合層，有效抑制蛋白吸附與炎癥反應(yīng)，使電極壽命延長(zhǎng)至6個(gè)月以上。典型產(chǎn)品MEA柔性電極已應(yīng)用于癲癇病灶定位與神經(jīng)康復(fù)設(shè)備，其高柔韌性可貼合腦溝回復(fù)雜曲面，信號(hào)信噪比提升30%，為神經(jīng)科學(xué)研究與臨床醫(yī)治提供了突破性解決方案。在微流控芯片上檢測(cè)所需要被檢測(cè)的樣本量體積往往只需要微升級(jí)別。天津微流控芯片技術(shù)

微流控芯片（microfluidic chip）是當(dāng)前微全分析系統(tǒng)（Miniaturized Total Analysis Systems）發(fā)展的熱點(diǎn)領(lǐng)域。微流控芯片分析以芯片為操作平臺(tái), 同時(shí)以分析化學(xué)為基礎(chǔ)，以MEMS微機(jī)電加工技術(shù)為依托,以微管道網(wǎng)絡(luò)為結(jié)構(gòu)特征,以生命科學(xué)為目前主要應(yīng)用對(duì)象，是當(dāng)前微全分析系統(tǒng)領(lǐng)域發(fā)展的重點(diǎn)。它的目標(biāo)是把整個(gè)化驗(yàn)室的功能，包括采樣、稀釋、加試劑、反應(yīng)、分離、檢測(cè)等集成在微芯片上,且可以多次使用。包括：白金電阻芯片, 壓力傳感芯片, 電化學(xué)傳感芯片, 聲學(xué)微流控芯片，微/納米反應(yīng)器芯片, 微流體燃料電池芯片, 微/納米流體過(guò)濾芯片等。MEMS微流控芯片加工廠梯度涂層設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)微流控芯片內(nèi)細(xì)胞定向遷移，用于一些研究。

微流控芯片對(duì)自身抗體檢測(cè)：自身抗體可以在大多數(shù)自身免疫性疾病中發(fā)現(xiàn)，如系統(tǒng)性紅斑狼瘡、系統(tǒng)性硬化等，此外也有證據(jù)表明自身抗體與心血管疾病、慢性tumour等疾病相關(guān)，部分自身抗體具有致病性、疾病特異性和診斷性。在疾病早期或疾病前期，自身抗體濃度便會(huì)升高，因而自身抗體具有早期預(yù)警價(jià)值；目前臨床上，很多自身抗體用于自身免疫病常規(guī)診療檢測(cè)，對(duì)自身免疫性疾病的診斷、監(jiān)測(cè)及預(yù)后有重要價(jià)值。由于技術(shù)的限制，目前絕大多數(shù)已發(fā)現(xiàn)的自身抗體并未用于常規(guī)臨床診斷。

單分子檢測(cè)用PDMS芯片的超凈加工與表面修飾：?jiǎn)畏肿訖z測(cè)對(duì)芯片表面潔凈度與非特異性吸附控制要求極高，公司建立了萬(wàn)級(jí)潔凈車(chē)間環(huán)境下的PDMS芯片超凈加工流程。從硅模清洗（采用氧等離子體處理去除有機(jī)殘留）到PDMS預(yù)聚體真空脫氣（真空度<10Pa），每個(gè)環(huán)節(jié)均嚴(yán)格控制顆粒污染，確保芯片表面顆粒雜質(zhì)<5μm的數(shù)量<5個(gè)/cm2。表面修飾采用硅烷化試劑（如APTES）與親水性聚合物（如PEG）層層自組裝，將蛋白吸附量降低至<1ng/cm2，滿(mǎn)足單分子熒光成像對(duì)背景噪聲的嚴(yán)苛要求。典型產(chǎn)品單分子免疫芯片可檢測(cè)低至10pM濃度的生物標(biāo)志物，較傳統(tǒng)ELISA靈敏度提升100倍。公司還開(kāi)發(fā)了芯片表面功能化定制服務(wù)，根據(jù)客戶(hù)需求接枝抗體、DNA探針等生物分子，實(shí)現(xiàn)“即買(mǎi)即用”的檢測(cè)芯片解決方案，加速單分子檢測(cè)技術(shù)的臨床轉(zhuǎn)化。深硅刻蝕結(jié)合親疏水涂層，制備高深寬比微井 / 流道用于生化反應(yīng)與測(cè)序。

微米級(jí)尺度微流控芯片的精密加工與應(yīng)用：在0.5-5μm微米級(jí)尺度微流控芯片加工領(lǐng)域，公司依托MEMS光刻、深硅刻蝕及納米壓印等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)精度的微流道、微孔陣列及三維結(jié)構(gòu)制造。電鏡下可見(jiàn)的精細(xì)流道網(wǎng)絡(luò)，其寬度誤差可控制在±50nm以?xún)?nèi)，適用于單分子檢測(cè)、液滴生成等超高精度場(chǎng)景。例如，在單分子免疫檢測(cè)芯片中，微米級(jí)微孔陣列可實(shí)現(xiàn)單個(gè)生物分子的捕獲與熒光信號(hào)放大，檢測(cè)靈敏度較傳統(tǒng)方法提升10倍以上。該尺度芯片的加工難點(diǎn)在于材料刻蝕均勻性與表面粗糙度控制，公司通過(guò)干濕結(jié)合刻蝕工藝與表面化學(xué)修飾技術(shù)，解決了高深寬比結(jié)構(gòu)（如10:1以上）的加工瓶頸，成功應(yīng)用于外泌體分選、循環(huán)腫瘤細(xì)胞捕獲等前沿生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，為精細(xì)醫(yī)療提供器件支撐。多材料鍵合技術(shù)解決 PDMS 與硬質(zhì)基板密封問(wèn)題，推動(dòng)復(fù)合芯片應(yīng)用。重慶微流控芯片貨源充足

微流控芯片的發(fā)展歷史。天津微流控芯片技術(shù)

大腦微流控芯片：與神經(jīng)元和細(xì)胞間相互作用直接相關(guān)的因素在腦組織功能的情況下起著重要作用。大腦及其組織的研究在很大程度上是復(fù)雜的，這使得諸如培養(yǎng)皿或培養(yǎng)瓶之類(lèi)的2D模型無(wú)效，因?yàn)檫@些系統(tǒng)無(wú)法模擬大腦的實(shí)際生理環(huán)境。為了克服這一局限性，研究人員目前正在研究開(kāi)發(fā)大腦微流控芯片平臺(tái)，可以在先進(jìn)的小型化工程平臺(tái)下研究大腦的生理因素，該平臺(tái)可以通過(guò)多步光刻技術(shù)制備。它通過(guò)制造不同尺寸的微通道進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了對(duì)腦組織的研究。天津微流控芯片技術(shù)