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常州VAC61900AC016分子泵軸承

來源: 發(fā)布時間:2025-07-13

針對分子泵高速運轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的復(fù)雜載荷,新巴頓在軸承結(jié)構(gòu)設(shè)計上進(jìn)行深度優(yōu)化。角接觸球軸承采用 28° 接觸角的定制化設(shè)計,相較于常規(guī) 15° 接觸角產(chǎn)品,軸向承載能力提升了 60%,能更好地應(yīng)對 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘高速運轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的陀螺力矩。通過有限元分析模擬,精確控制軸承的軸向游隙在 8μm 左右,在 - 20℃至 120℃的溫度區(qū)間內(nèi),可自動補償因熱脹冷縮產(chǎn)生的形變,確保轉(zhuǎn)子軸向竄動誤差控制在 ±3μm 以內(nèi)。某科研機構(gòu)的分子泵設(shè)備應(yīng)用該設(shè)計后,系統(tǒng)運行穩(wěn)定性大幅提升,振動值從原來的 12m/s2 降至 4m/s2,達(dá)到 ISO 10816-1 標(biāo)準(zhǔn) Class 1 的嚴(yán)苛要求,為精密實驗提供了可靠保障。新巴頓分子泵軸承助力半導(dǎo)體生產(chǎn),提升芯片成品率與質(zhì)量。常州VAC61900AC016分子泵軸承

分子泵軸承

分子泵軸承作為真空系統(tǒng)主要部件,承擔(dān)著支撐高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子、確保真空腔體內(nèi)氣流穩(wěn)定的關(guān)鍵作用。其工作環(huán)境通常要求轉(zhuǎn)速高達(dá) 10 萬 - 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘,因此對軸承的動態(tài)穩(wěn)定性、耐磨性能及熱傳導(dǎo)性提出嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。在半導(dǎo)體制造中,分子泵軸承需維持納米級制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若軸承失效將導(dǎo)致腔室污染,直接影響芯片良率。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司針對此類需求,提供基于陶瓷球與不銹鋼套圈的組合方案,通過優(yōu)化滾道弧度設(shè)計,使軸承在高速運轉(zhuǎn)時的溫升控制在 30℃以內(nèi),滿足半導(dǎo)體設(shè)備 24 小時連續(xù)運行的可靠性要求。奉賢區(qū)S102SSAT3G33分子泵軸承巴頓分子泵軸承:精密制造行業(yè)的佼佼者。

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行業(yè)定制優(yōu)勢:精確適配各領(lǐng)域需求,新巴頓針對不同行業(yè)的特殊需求,提供專業(yè)化的定制解決方案。面向半導(dǎo)體行業(yè),推出通過 SEMI S2 認(rèn)證的軸承產(chǎn)品,其總揮發(fā)性有機物(TVOC)含量低于 40ppb;為醫(yī)療 CT 設(shè)備定制的軸承,符合 ISO 13485 標(biāo)準(zhǔn),采用電解拋光工藝使表面粗糙度 Ra 值達(dá)到 0.03μm,滿足滅菌要求;針對紡織機械,研發(fā)出表面經(jīng) TD 處理(硬度 HV3200)的軸承,有效抵御纖維粉塵磨損。某化纖生產(chǎn)企業(yè)使用定制軸承后,設(shè)備運行效率提升了 15%,維護成本降低了 65%,充分體現(xiàn)了定制化產(chǎn)品的優(yōu)勢。

針對機械行業(yè)的噪音環(huán)保要求,新巴頓分子泵軸承通過結(jié)構(gòu)優(yōu)化降低運轉(zhuǎn)噪音。采用不對稱倒角滾道(倒角角度 15°-20°),減少滾動體打滑噪音;保持架使用注塑玻璃纖維尼龍(PA66+GF30),降低碰撞噪音至 60dB 以下(距離 1 米處)。在醫(yī)療機械的 CT 機中,這種低噪音設(shè)計可使整機噪音≤55dB,滿足醫(yī)院環(huán)境的靜音要求。軸承外圈的阻尼涂層(厚度 0.5-1mm)進(jìn)一步吸收振動能量,將高頻噪音(1000-5000Hz)降低 10-15dB,使機械系統(tǒng)符合 ISO 11201 噪音排放標(biāo)準(zhǔn),提升工作環(huán)境的舒適性。新巴頓分子泵軸承動態(tài)平衡等級 G1.0,有效抑制機械運行振動。

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為適配機械行業(yè)的智能化趨勢,新巴頓分子泵軸承可集成傳感器模塊。內(nèi)置溫度傳感器(精度 ±1℃)、加速度傳感器(量程 ±50g),通過 IoT 網(wǎng)關(guān)將數(shù)據(jù)傳輸至云端平臺,實現(xiàn)軸承狀態(tài)的實時監(jiān)控(如溫度曲線、振動趨勢)。在智能工廠的真空系統(tǒng)中,該監(jiān)測系統(tǒng)可與 PLC 聯(lián)動,當(dāng)軸承溫度超過閾值時自動啟動備用泵,避免機械故障導(dǎo)致的產(chǎn)線停擺。數(shù)據(jù)接口支持 OPC UA、MQTT 等協(xié)議,無縫集成至工業(yè) 4.0 系統(tǒng),為機械行業(yè)的預(yù)測性維護提供數(shù)據(jù)支撐,將軸承維護成本降低 25% 以上。巴頓分子泵軸承:科研探索的精密伙伴。奉賢區(qū)C1907HX205Y25DF分子泵軸承

獨特結(jié)構(gòu)設(shè)計,讓新巴頓分子泵軸承適應(yīng)高速運轉(zhuǎn),性能穩(wěn)定出色。常州VAC61900AC016分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承的清潔度達(dá)到 ISO 4406:1999 標(biāo)準(zhǔn)的 12/9 級,滿足高真空機械的嚴(yán)苛要求。生產(chǎn)過程中采用超聲波清洗(溶劑為異丙醇),配合真空干燥(壓力≤10?3Pa,溫度 60℃),去除表面殘留雜質(zhì)(顆粒尺寸>5μm 的污染物≤10 個 / 100cm2)。在半導(dǎo)體離子注入設(shè)備中,這種高清潔度軸承可避免微粒污染晶圓,使工藝良率提升至 99.5% 以上。軸承裝配在潔凈室(Class 100)中進(jìn)行,操作人員穿戴無塵服,工具經(jīng)過紫外消毒,確保分子泵軸承在機械安裝后,不會成為真空系統(tǒng)的污染源,維持 10??Pa 級別的高真空環(huán)境。常州VAC61900AC016分子泵軸承