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尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無(wú)**廢氣收集管道時(shí)需做專門處理。設(shè)備配置試驗(yàn)室用電源設(shè)備及注意事項(xiàng)電源：AC220V50Hz電壓允許變動(dòng)范圍：額定值的±5%（但是可運(yùn)行的范圍為±10%）（2）最大負(fù)荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時(shí)注意與墻面距離應(yīng)大于300mm。特別要求：文檔到指定的網(wǎng)絡(luò)路徑：透過(guò)txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產(chǎn)使用量監(jiān)控要求：通過(guò)流量計(jì)+電池閥延時(shí)控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監(jiān)控,低位報(bào)警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范...

六、安全保護(hù)系統(tǒng)1.空氣開關(guān)（防止過(guò)流和短路）2.電機(jī)過(guò)流過(guò)熱保護(hù)3.超溫保護(hù)（防止工作室溫度過(guò)高，保護(hù)產(chǎn)品），報(bào)警七、安裝場(chǎng)地要求1.烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關(guān)并負(fù)責(zé)設(shè)備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對(duì)濕度：不大于85%（3周圍無(wú)強(qiáng)烈的振動(dòng)和氣流存在（4電源：三相五線380V，50Hz（5無(wú)腐蝕性氣體存在3.請(qǐng)務(wù)必接地4.不能在箱內(nèi)烘烤易燃易爆物品，可燃?xì)怏w及性物品八、其它1.保固期：整機(jī)1年(天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外，本公司完全免費(fèi)維修)。電話響應(yīng)時(shí)間1小時(shí)，售后服務(wù)到達(dá)到現(xiàn)場(chǎng)響應(yīng)時(shí)間為24小時(shí)...

十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用45度，MAX60度。機(jī)臺(tái)體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸（W*H*D）材質(zhì)1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，巖棉保溫，具有升溫快，節(jié)能等特點(diǎn)2.不銹鋼爐膛內(nèi)箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風(fēng)系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐膛溫度均勻。2.熱風(fēng)循環(huán)溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時(shí)。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點(diǎn)溫度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管。◇加熱管材質(zhì)為，不銹鋼304加熱器。10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側(cè)，內(nèi)裝空氣開關(guān)、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路。控制面板控制面...

九、設(shè)備參數(shù)9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設(shè)備整機(jī)尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側(cè)面）主機(jī)占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環(huán)境要求：空氣溫度：5～40℃相對(duì)濕度：≤80%十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用500度，MAX600度。機(jī)臺(tái)體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸層架結(jié)構(gòu)，貴司現(xiàn)有設(shè)備樣式（見附件圖紙）材質(zhì)保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5...

一、設(shè)計(jì)依據(jù)：烘烤線設(shè)計(jì)說(shuō)明：1.工件烘烤（1）爐體採(cǎi)用天然氣燃燒後進(jìn)行加熱，爐體尺寸以托盤的工件尺寸規(guī)劃（2）爐體採(cǎi)用輥筒輸送，爐體加熱段設(shè)計(jì)連續(xù)烘烤。（3）爐體加熱段採(cǎi)用150°C，2.輸送爐輸送方式為載重型雙鏈滾筒輸送，滾筒表面鍍鋅處理。3.爐內(nèi)滾筒輸送線總長(zhǎng)：37米；動(dòng)力分為6段，每段長(zhǎng)度大約6.1左右。（動(dòng)力分段以后續(xù)實(shí)際設(shè)計(jì)為準(zhǔn)）4.傳動(dòng)採(cǎi)用步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)：電機(jī)配合減速機(jī)一體式；5.烤爐側(cè)板為巖棉板，價(jià)格低，施工快，120K,t=150mm，溫度為150度，熱風(fēng)迴圈方式.5.加熱方式為燃?xì)馊紵龣C(jī)加熱。（日本正英公司是燃燒技術(shù)領(lǐng)域的企業(yè)之一，主要產(chǎn)品包括燃?xì)?、燃油及雙燃料燃燒器及相關(guān)附件...

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)?，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使...

一、設(shè)備名稱：86寸老化烤箱二、設(shè)備型號(hào)：TSP202012ZA006-2三、設(shè)備用途：電子元件，電子玻璃等老化測(cè)試。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內(nèi)，溫控的控制精度正負(fù)5度，均溫性±5℃。5．2正常使用45度，比較大溫度60度。六、設(shè)備能力:溫度到計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警。七、七、設(shè)備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運(yùn)用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設(shè)定溫度后自動(dòng)保溫計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警提示。7.2設(shè)備組成：TSP202012ZA00686寸老化爐一臺(tái)。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門密封→3加熱升溫→4溫度到計(jì)時(shí)保溫→5保溫時(shí)間到報(bào)警→6斷電降溫→7開門下料九、設(shè)備參數(shù)9-1.老化工件：...

10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側(cè)（顏色平光白），內(nèi)裝空氣開關(guān)、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路?？刂泼姘蹇刂泼姘灏惭b加熱開關(guān)，送風(fēng)開關(guān)、溫度控制器YUDIAN、故障報(bào)警燈等。操作面板上可以設(shè)定所有的參數(shù)及控制狀態(tài)；若不正常，有聲或光報(bào)警并可控制加熱器、馬達(dá)等停止工作。備注◇發(fā)熱管的安裝應(yīng)考慮維修方便?！蟛季€整齊，電線都放入線槽內(nèi)；并標(biāo)明線號(hào)。◇所有電線接頭用線耳方式銜接。十一、主要用料說(shuō)明：11-1．保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T耐熱不銹鋼...

二、性能指標(biāo)注解：周圍溫度為+5~+35℃時(shí)，在無(wú)試驗(yàn)負(fù)荷情況下穩(wěn)定1小時(shí)后測(cè)定的性能。另外，關(guān)于溫度上升及下降時(shí)間是指電源電壓正常，周圍溫度+25±5℃時(shí)的性能。1.溫度性能指標(biāo)試驗(yàn)?zāi)康摹跗焚|(zhì)檢驗(yàn)□產(chǎn)品開發(fā)□生產(chǎn)應(yīng)用□可靠性試驗(yàn)（保存、老化）□其它：本試驗(yàn)箱技術(shù)指標(biāo)溫度范圍RT~+250℃溫度波動(dòng)度：≤0.5℃單點(diǎn)控制(PT100型傳感器，一個(gè)，測(cè)量位置為內(nèi)膽外壁，通過(guò)內(nèi)部PID參數(shù)調(diào)整，使內(nèi)部溫度和實(shí)測(cè)溫度一致)溫度上升時(shí)間RT~200℃60分鐘以內(nèi)(空載時(shí))主要參數(shù)：內(nèi)部尺寸：W450*D450*H450（4寸可放置8個(gè)，6寸可放置4個(gè)）4寸晶圓框架盒的參數(shù)：材質(zhì)：PFA材質(zhì)（需客戶提供...

無(wú)塵烘箱雙門雙控XSTS-940*2規(guī)格書一、箱體結(jié)構(gòu)尺寸1.內(nèi)尺寸（W*D*H）mm： 2室2.外尺寸（W*D*H）mm：按照實(shí)際尺寸3.控制器：位于機(jī)臺(tái)右部4.門、門扣：雙門，由中間往兩邊開5.內(nèi)膽材質(zhì)：質(zhì)量不銹鋼鏡面板6.外箱材質(zhì)：冷板靜電粉末烤漆（米白色）7.保溫材質(zhì)：采用質(zhì)量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），保溫性能佳，節(jié)能省電，環(huán)保無(wú)污染8.爐門保溫材質(zhì)：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩(wěn)，節(jié)能效果佳9.底部配可調(diào)節(jié)的腳杯和可移動(dòng)的腳輪10.箱體各2支凹槽，方便千層架進(jìn)出（千層架由客戶自備）11.內(nèi)部背后設(shè)置防撞裝置高溫隧道固化爐燒銀爐。...

二、性能指標(biāo)注解：周圍溫度為+5~+35℃時(shí)，在無(wú)試驗(yàn)負(fù)荷情況下穩(wěn)定1小時(shí)后測(cè)定的性能。另外，關(guān)于溫度上升及下降時(shí)間是指電源電壓正常，周圍溫度+25±5℃時(shí)的性能。1.溫度性能指標(biāo)試驗(yàn)?zāi)康摹跗焚|(zhì)檢驗(yàn)□產(chǎn)品開發(fā)□生產(chǎn)應(yīng)用□可靠性試驗(yàn)（保存、老化）□其它：本試驗(yàn)箱技術(shù)指標(biāo)溫度范圍RT~+250℃溫度波動(dòng)度：≤0.5℃單點(diǎn)控制(PT100型傳感器，一個(gè)，測(cè)量位置為內(nèi)膽外壁，通過(guò)內(nèi)部PID參數(shù)調(diào)整，使內(nèi)部溫度和實(shí)測(cè)溫度一致)溫度上升時(shí)間RT~200℃60分鐘以內(nèi)(空載時(shí))主要參數(shù)：內(nèi)部尺寸：W450*D450*H450（4寸可放置8個(gè)，6寸可放置4個(gè)）4寸晶圓框架盒的參數(shù)：材質(zhì)：PFA材質(zhì)（需客戶提供...

二.溫度范圍:1.使用溫度：10℃~50℃三．機(jī)器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.溫度分布均勻度:±5~10℃.(空爐測(cè)量恒溫段有效區(qū)域內(nèi)為準(zhǔn))配置風(fēng)路循環(huán)（手動(dòng)變頻調(diào)節(jié)）四.機(jī)械板金結(jié)構(gòu)：1.內(nèi)部材質(zhì)：SUS1.0t不銹鋼板.2.外部材質(zhì):SS41+粉體金屬漆。3.保溫材質(zhì):高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.設(shè)有排氣系統(tǒng)，及時(shí)將爐內(nèi)廢氣排出，可調(diào)節(jié)大小。五.恒溫系統(tǒng):1.采用不銹鋼，均布式平面布局，保證均溫性.2.完全單獨(dú)系統(tǒng)，不影響控制線路.六.電路控制系統(tǒng):1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無(wú)熔絲電源開關(guān)，鐵線槽堅(jiān)固耐用.4.控制系統(tǒng)附電源燈、風(fēng)車指示燈，加...

六、安全保護(hù)系統(tǒng)1.空氣開關(guān)（防止過(guò)流和短路）2.電機(jī)過(guò)流過(guò)熱保護(hù)3.超溫保護(hù)（防止工作室溫度過(guò)高，保護(hù)產(chǎn)品），報(bào)警七、安裝場(chǎng)地要求1.烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關(guān)并負(fù)責(zé)設(shè)備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對(duì)濕度：不大于85%（3周圍無(wú)強(qiáng)烈的振動(dòng)和氣流存在（4電源：三相五線380V，50Hz（5無(wú)腐蝕性氣體存在3.請(qǐng)務(wù)必接地4.不能在箱內(nèi)烘烤易燃易爆物品，可燃?xì)怏w及性物品八、其它1.保固期：整機(jī)1年(天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外，本公司完全免費(fèi)維修)。電話響應(yīng)時(shí)間1小時(shí)，售后服務(wù)到達(dá)到現(xiàn)場(chǎng)響應(yīng)時(shí)間為24小時(shí)...

主營(yíng)：烤箱、UV、工業(yè)爐、非標(biāo)設(shè)備定制，輸送設(shè)備、各式低溫、中溫、高溫、無(wú)塵無(wú)氧化爐、鐘罩爐、燒結(jié)爐、氣氛爐、真空爐、超聲波清洗、烘干熱處理設(shè)備、及其周邊自動(dòng)化……橫跨PCB、FPD、LED、涂裝、玻璃、半導(dǎo)體、汽車、粉末冶金、太陽(yáng)能、等行業(yè)，是專業(yè)的自動(dòng)化設(shè)備設(shè)計(jì)生產(chǎn)商。通風(fēng)集塵環(huán)保設(shè)備，熱回收節(jié)能工程。激光切割，精密鈑金。熱情服務(wù)，誠(chéng)信合作！ 十五、售后服務(wù)：u設(shè)備交付使用后供方無(wú)償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù),一年后供方繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。u合同上面注明保修有效日期、覆蓋范圍以及賣方的聯(lián)系人。u保修期內(nèi)外保證在接到用戶維修服務(wù)信息后8小時(shí)內(nèi)趕到生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)并采取措施解決問題。十六...

五.加熱系統(tǒng):1.采用正英燃燒機(jī)，均布式平面布局，保證均溫性.2.完全單獨(dú)系統(tǒng)，不影響控制線路.六.電路控制系統(tǒng):1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無(wú)熔絲電源開關(guān)，鐵線槽堅(jiān)固耐用.4.控制系統(tǒng)附電源燈、風(fēng)車指示燈，加熱指示燈…….七.安全保護(hù)系統(tǒng):1.附有中國(guó)臺(tái)灣東元無(wú)熔絲保護(hù)開關(guān).2.超溫控制超過(guò)設(shè)定最大值,自動(dòng)斷電.3.控制器超溫控制接點(diǎn)+蜂鳴.4.控制線路電源加裝保險(xiǎn)絲.5.大屏顯示烘烤溫度和步進(jìn)速度顯示（包括效率顯示，績(jī)效大顯示屏），與PLC連線接入八.品管:1.重要五金配件（臺(tái)系或日系品牌）.2.電控元件（臺(tái)系或日系品牌）.3.生產(chǎn)物料經(jīng)嚴(yán)格檢驗(yàn)后入倉(cāng),投入使用...

四、設(shè)備說(shuō)明及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)1、工作原理步進(jìn)式砂芯烘烤爐採(cǎi)用風(fēng)路佈置管道的方式，即通過(guò)風(fēng)機(jī)將外部新鮮空氣經(jīng)燃?xì)馊紵龣C(jī)加熱後，送到預(yù)先佈設(shè)的加熱風(fēng)管，熱空氣進(jìn)入到烘烤爐內(nèi)，自頂部吹進(jìn)烘烤爐，除吸進(jìn)少量新鮮空氣外，絕大部分熱空氣通過(guò)迴圈被繼續(xù)加熱利用，送入到烘烤爐內(nèi)部，使得烘烤爐內(nèi)溫度逐步升高，當(dāng)溫度達(dá)到設(shè)定溫度時(shí)，燃?xì)馊紵龣C(jī)自動(dòng)調(diào)節(jié)大小火，使烤房?jī)?nèi)溫度保持恒定。2設(shè)備總成l本烘烤爐的烘乾功能，且烘乾時(shí)具有自動(dòng)升溫、恒溫定時(shí)、以及具有運(yùn)風(fēng)。該設(shè)備由爐體、迴圈風(fēng)機(jī)系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、安全系統(tǒng)及電控系統(tǒng)等組成。（選配：過(guò)濾系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)）3設(shè)備說(shuō)明3.1烘烤爐系統(tǒng)：烘烤爐主體材料必須具有保溫性能好，密封性能...

15米連續(xù)式烘烤爐規(guī)格書（燃?xì)饧訜幔┮?guī)範(fàn)書昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司一、設(shè)備簡(jiǎn)介：1.設(shè)備用途：本設(shè)備為連續(xù)式表面烘干生產(chǎn)線，用于產(chǎn)品制程后的烘干和輸送。2.干燥后的產(chǎn)品具有均勻一致的數(shù)據(jù)要求.3.設(shè)計(jì)、制造、安裝調(diào)試的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：產(chǎn)品在設(shè)計(jì)、制造、安裝調(diào)試驗(yàn)收過(guò)程中，按照客戶的要求，在局限的空間和時(shí)間做出***的性能.總功率：3P380V5KW/H電源：AC380V三相五線控制方式：SSR+PID進(jìn)料高度：400MM爐內(nèi)高度：450MM加熱功率：5萬(wàn)大卡循環(huán)風(fēng)機(jī)：1臺(tái)風(fēng)量4000CMH，壓力1000Pa耗能：1.燃燒機(jī)用燃?xì)獗容^大6立方每小時(shí)，保溫燃?xì)庠?0~50%。約1.8立方到...

六、安全保護(hù)系統(tǒng)1.空氣開關(guān)（防止過(guò)流和短路）2.電機(jī)過(guò)流過(guò)熱保護(hù)3.超溫保護(hù)（防止工作室溫度過(guò)高，保護(hù)產(chǎn)品），報(bào)警七、安裝場(chǎng)地要求1.烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關(guān)并負(fù)責(zé)設(shè)備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對(duì)濕度：不大于85%（3周圍無(wú)強(qiáng)烈的振動(dòng)和氣流存在（4電源：三相五線380V，50Hz（5無(wú)腐蝕性氣體存在3.請(qǐng)務(wù)必接地4.不能在箱內(nèi)烘烤易燃易爆物品，可燃?xì)怏w及性物品八、其它1.保固期：整機(jī)1年(天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外，本公司完全免費(fèi)維修)。電話響應(yīng)時(shí)間1小時(shí)，售后服務(wù)到達(dá)到現(xiàn)場(chǎng)響應(yīng)時(shí)間為24小時(shí)...

九、設(shè)備參數(shù)9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設(shè)備整機(jī)尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側(cè)面）主機(jī)占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環(huán)境要求：空氣溫度：5～40℃相對(duì)濕度：≤80%十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用500度，MAX600度。機(jī)臺(tái)體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸層架結(jié)構(gòu)，貴司現(xiàn)有設(shè)備樣式（見附件圖紙）材質(zhì)保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5...

二、進(jìn)出氣口裝置2.爐體出風(fēng)風(fēng)路：耐高溫不銹鋼板3.進(jìn)出氣口：進(jìn)氣口在后部，口徑50mm，出氣口在上部，口徑50mm，可調(diào)整入氣大小三、精度1.溫度范圍：最高溫度300℃2.溫度均勻度：±3℃（空箱恒溫測(cè)試）四、溫控系統(tǒng)1.加熱器材質(zhì)：采用質(zhì)量電加熱器，3KW；有電阻率高、使用溫度高、使用壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)，完全**系統(tǒng)，不影響控制線路2.溫度控制器：臺(tái)順電腦自動(dòng)演算單段式控制器+SSR固態(tài)繼電器*1組,溫度傳感器采用KTYPE，精確有保證。3.定時(shí)器、恒溫定時(shí)器：在0-99h（m）范圍內(nèi)，爐內(nèi)溫度達(dá)到設(shè)定點(diǎn)時(shí)即開始計(jì)時(shí)，當(dāng)烘烤時(shí)間到達(dá)設(shè)定時(shí)間時(shí)自動(dòng)關(guān)閉加熱系統(tǒng)，有計(jì)時(shí)蜂鳴報(bào)警五、電源裝置1.電壓：...

產(chǎn)品特點(diǎn)：●獨(dú)特的爐門設(shè)計(jì)，使開門操作安全簡(jiǎn)便，確保爐內(nèi)高溫?zé)釟獠煌饴??！裎㈦娔XPID控制器，操作簡(jiǎn)便，控溫精確、可靠、安全?！衲透g輕質(zhì)爐膛，確保經(jīng)久耐用。（耐火磚爐膛或陶瓷纖維爐膛任意選擇）●極好的門密封使得熱量損失**小，增加了爐膛內(nèi)溫度的均勻性?！窨删幊炭刂破鳎?0段程序,每段可設(shè)定升溫或停留,并提供程序化的溫度、時(shí)間、加熱功率的循環(huán)。（可程式箱式電爐具有此功能）●多段可編程控制,可以簡(jiǎn)化復(fù)雜的試驗(yàn)過(guò)程真正實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制和運(yùn)行。爐門內(nèi)膽和箱體面板均采用不銹鋼材料制作，具有抗腐蝕、高溫不變型等特點(diǎn)。（可程式箱式電爐具有此功能）安全功能：●操作時(shí)只需開啟爐門，爐門安全開關(guān)會(huì)自動(dòng)斷開加熱電源，...

二、性能指標(biāo)注解：周圍溫度為+5~+35℃時(shí)，在無(wú)試驗(yàn)負(fù)荷情況下穩(wěn)定1小時(shí)后測(cè)定的性能。另外，關(guān)于溫度上升及下降時(shí)間是指電源電壓正常，周圍溫度+25±5℃時(shí)的性能。1.溫度性能指標(biāo)試驗(yàn)?zāi)康摹跗焚|(zhì)檢驗(yàn)□產(chǎn)品開發(fā)□生產(chǎn)應(yīng)用□可靠性試驗(yàn)（保存、老化）□其它：本試驗(yàn)箱技術(shù)指標(biāo)溫度范圍RT~+250℃溫度波動(dòng)度：≤0.5℃單點(diǎn)控制(PT100型傳感器，一個(gè)，測(cè)量位置為內(nèi)膽外壁，通過(guò)內(nèi)部PID參數(shù)調(diào)整，使內(nèi)部溫度和實(shí)測(cè)溫度一致)溫度上升時(shí)間RT~200℃60分鐘以內(nèi)(空載時(shí))主要參數(shù)：內(nèi)部尺寸：W450*D450*H450（4寸可放置8個(gè)，6寸可放置4個(gè)）4寸晶圓框架盒的參數(shù)：材質(zhì)：PFA材質(zhì)（需客戶提供...

九、設(shè)備參數(shù)9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設(shè)備整機(jī)尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側(cè)面）主機(jī)占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環(huán)境要求：空氣溫度：5～40℃相對(duì)濕度：≤80%十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用500度，MAX600度。機(jī)臺(tái)體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸層架結(jié)構(gòu)，貴司現(xiàn)有設(shè)備樣式（見附件圖紙）材質(zhì)保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5...

首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)?，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反...

二、真空系統(tǒng)1.真空度:100Pa（附真空電阻計(jì)）2.真空度范圍：100~0.1MPa，漏氣量＜1.33KPa/H3.抽真空時(shí)間：≤3Min3.真空泵：為選配件，客戶可自購(gòu)（國(guó)產(chǎn)3相380V旋片真空泵配真空管閥一套不含過(guò)濾器）配2X-70真空泵4.抽真空采用自動(dòng)，破真空采用手動(dòng)三、精度1.溫度范圍：室溫～200℃常用120℃2.儀表精度：±1℃3.溫度均勻性：加熱板表面溫差±5℃四、溫控系統(tǒng)1.控制方式：PID+SSR出力2.加熱器材質(zhì)：內(nèi)置不銹鋼加熱器鋁制加熱板1.5KW?63.控制方式：觸摸屏+PLC集中控制，可以實(shí)現(xiàn)抽氣、充氣任意循環(huán)設(shè)置。4.比較大升溫速率：5℃/min5.測(cè)溫體：K型...

九、設(shè)備參數(shù)9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設(shè)備整機(jī)尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側(cè)面）主機(jī)占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環(huán)境要求：空氣溫度：5～40℃相對(duì)濕度：≤80%十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用500度，MAX600度。機(jī)臺(tái)體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸層架結(jié)構(gòu)，貴司現(xiàn)有設(shè)備樣式（見附件圖紙）材質(zhì)保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5...

二、性能指標(biāo)注解：周圍溫度為+5~+35℃時(shí)，在無(wú)試驗(yàn)負(fù)荷情況下穩(wěn)定1小時(shí)后測(cè)定的性能。另外，關(guān)于溫度上升及下降時(shí)間是指電源電壓正常，周圍溫度+25±5℃時(shí)的性能。1.溫度性能指標(biāo)試驗(yàn)?zāi)康摹跗焚|(zhì)檢驗(yàn)□產(chǎn)品開發(fā)□生產(chǎn)應(yīng)用□可靠性試驗(yàn)（保存、老化）□其它：本試驗(yàn)箱技術(shù)指標(biāo)溫度范圍RT~+250℃溫度波動(dòng)度：≤0.5℃單點(diǎn)控制(PT100型傳感器，一個(gè)，測(cè)量位置為內(nèi)膽外壁，通過(guò)內(nèi)部PID參數(shù)調(diào)整，使內(nèi)部溫度和實(shí)測(cè)溫度一致)溫度上升時(shí)間RT~200℃60分鐘以內(nèi)(空載時(shí))主要參數(shù)：內(nèi)部尺寸：W450*D450*H450（4寸可放置8個(gè)，6寸可放置4個(gè)）4寸晶圓框架盒的參數(shù)：材質(zhì)：PFA材質(zhì)（需客戶提供...

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。無(wú)氧化烤箱Q...

干燥箱DTS-450規(guī)格書一、箱體結(jié)構(gòu)尺寸1.內(nèi)尺寸（W*D*H）mm：450*450*450.外尺寸（W*D*H）mm：約810*720*11203.控制箱：位于機(jī)臺(tái)底部，方便操作，維修方便4.門、門扣：?jiǎn)伍T5.內(nèi)膽材質(zhì)：質(zhì)量不銹鋼板6.外箱材質(zhì)：鋼板粉體靜電烤漆（米白色）涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著力液體噴涂7.保溫材質(zhì)：采用質(zhì)量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節(jié)能省電，環(huán)保無(wú)污染8.爐門保溫材質(zhì)：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩(wěn)，節(jié)能效果佳9.分層：吊桿2支升降式垂直熱風(fēng)循環(huán)隧道爐?；窗搽娮庸I(yè)烤箱市場(chǎng)二.溫度范圍:1....

培訓(xùn)工作將分為二個(gè)階段：①基礎(chǔ)培訓(xùn)階段基礎(chǔ)培訓(xùn)在買方所在地進(jìn)行，主要培訓(xùn)以下內(nèi)容：對(duì)操作人員及維修人員講解有關(guān)專業(yè)基礎(chǔ)知識(shí)；詳細(xì)講解各系統(tǒng)工作原理；各系統(tǒng)的使用、維護(hù)及有關(guān)注意事項(xiàng)。②現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)在買方設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行，主要培訓(xùn)以下內(nèi)容：對(duì)照設(shè)備講解各系統(tǒng)工作原理；進(jìn)行實(shí)際操作、維護(hù)講解；設(shè)備安裝調(diào)試階段，使用者可派人參加調(diào)試，為今後熟練的操作、維護(hù)創(chuàng)造良好的條件。5.4賣方為買方提供設(shè)備的操作和維護(hù)規(guī)範(fàn)。6、安裝調(diào)試與驗(yàn)收6.1本次買方負(fù)責(zé)基礎(chǔ)製作，賣方在合同生效10日內(nèi)提供設(shè)備基礎(chǔ)設(shè)施圖，並負(fù)責(zé)施工的技術(shù)指導(dǎo)；賣方負(fù)責(zé)設(shè)備安裝調(diào)試，買方提供必要的配合。6.2賣方工作人員在現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試服從買...