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    本實用新型關(guān)乎半導(dǎo)體裝置領(lǐng)域，尤為關(guān)乎一種工藝腔體。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工藝中，有多種工藝腔體是運用旋轉(zhuǎn)的方法開展工作，但是旋轉(zhuǎn)就避免不住將剩余的化學(xué)物質(zhì)甩到裹腔體的內(nèi)壁上。以光刻工藝舉例來說解釋：光刻膠涂布是光刻的舉足輕重單元，但是在光刻膠涂布過程中，剩余的光刻膠被甩出晶圓表面，它們中的一部分不會經(jīng)由管路排走，而是匯聚在工藝腔體的內(nèi)壁。匯聚在工藝腔體內(nèi)壁的光刻膠在干燥之后會演變?yōu)轭w粒物，在涂布下一片晶圓時，高速轉(zhuǎn)動的晶圓會產(chǎn)生擾流并在晶圓的邊沿區(qū)域形成細微的真空，這些真空會吸引匯聚在工藝腔體內(nèi)壁的顆粒物，**后散布在晶圓的表面，致使晶圓產(chǎn)生缺點?，F(xiàn)有技術(shù)中會對工藝腔體的體壁開展定期維護與保養(yǎng)，需將整個工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時需相應(yīng)的體壁備用更換，引致減低了生產(chǎn)效率。因此，有必要提供一種可自動更換及清洗體壁的工藝腔體。技術(shù)實現(xiàn)元素：本實用新型的目的在于提供一種新的工藝腔體，能夠自動更換及清洗腔體的體壁，從而提高生產(chǎn)效率。為了達到上述目的，本實用新型提供了一種工藝腔體，包括：內(nèi)層體壁，由所述內(nèi)層體壁平分而成的內(nèi)層體壁段；由承載所述內(nèi)層體壁的承載物平分而成的承載段。咨詢緊固件，定制開體花蘭價格預(yù)算在哪批發(fā)。

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    所述花蘭體29上端設(shè)有上螺紋孔，用于和上拉桿28的下螺紋柱31配合；所述花蘭體29下端設(shè)有下螺紋孔，用于和下拉桿30的上螺紋柱32配合；所述花蘭體29上端和下端通過左連接柱68和右連接柱69連接；所述左連接柱68和右連接柱69之間保持間隙；包括立柱71、伸縮手柄72和兩個抓手73；所述伸縮手柄72固定在立柱71中部；所述立柱71兩端固定有抓手73；所述抓手73用于接觸左連接柱68和右連接柱69，使伸縮手柄72可推動花蘭體29自轉(zhuǎn)。由上述結(jié)構(gòu)可知，所述伸縮手柄72固定在立柱71中部，在沒有遇到障礙時，可以把伸縮手柄72調(diào)到更長位置，增大力臂，方便旋動花蘭體29；遇到障礙時，縮短伸縮手柄72，躲避障礙物；由于建筑工地的復(fù)雜性，采用伸縮手柄72可調(diào)節(jié)長度，適應(yīng)性更好。立柱71兩端固定有抓手73，所述抓手73用于接觸左連接柱68和右連接柱69，這樣左連接柱68和右連接柱69都有兩個相隔一定距離的位置被抓持，不容易造成花蘭體29變形，保護了花蘭體29。實施例二：見附圖1～2。一種花蘭體旋緊裝置，用于旋緊花蘭體29，所述花蘭體29上端設(shè)有上螺紋孔，用于和上拉桿28的下螺紋柱31配合；所述花蘭體29下端設(shè)有下螺紋孔，用于和下拉桿30的上螺紋柱32配合。湖南制造開體花蘭供應(yīng)

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