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來源: 發(fā)布時間:2025-07-18

coulson的干冰清洗技術(shù)在芯片(半導(dǎo)體)制造行業(yè)中的應(yīng)用是一種高效、精密且環(huán)保的清潔方法,尤其適用于對污染極度敏感、不能接觸液體或化學(xué)溶劑、且需要避免物理損傷的精密設(shè)備和組件。以下是其在該行業(yè)的主要應(yīng)用場景、優(yōu)勢和技術(shù)要點:一、 **應(yīng)用場景晶圓制造設(shè)備維護(hù)與清潔:等離子體刻蝕/沉積設(shè)備腔室: 這些腔室(如反應(yīng)室、氣體噴淋頭、靜電卡盤邊緣、腔壁、擋板)內(nèi)部會積累聚合物、殘留光刻膠、金屬沉積物、副產(chǎn)物等頑固污染物。干冰清洗能有效去除這些沉積物,無需拆卸設(shè)備或使用腐蝕性化學(xué)品,***減少設(shè)備停機(jī)時間。化學(xué)氣相沉積/物***相沉積設(shè)備: 類似刻蝕設(shè)備,腔室內(nèi)部、噴頭、加熱器等部件上的薄膜沉積殘留物需要定期去除。離子注入機(jī)部件: 清潔束流線、靶室、掃描系統(tǒng)等部件上的污染物。光刻機(jī)**部件: 清潔機(jī)臺框架、導(dǎo)軌、防護(hù)罩等非光學(xué)**部件上的微粒和有機(jī)物(如潤滑脂、指紋、環(huán)境塵埃),避免污染物遷移到**光學(xué)區(qū)域。注意:不能直接用于清潔極其精密的光學(xué)元件(如透鏡、反射鏡)。擴(kuò)散爐管及舟: 清潔爐管口、石英舟等部件上的氧化物、摻雜劑殘留等。清洗電線、電路、管道等敏感區(qū)域,就選酷爾森干冰清洗!不僅清潔力驚人,而且無損傷、不腐蝕、無殘留!遼寧便攜式干冰清洗銷售

干冰清洗

酷爾森環(huán)??萍迹ㄉ虾#┯邢薰镜母杀逑礊镻CBA清洗提供了一種獨特且強(qiáng)大的解決方案,尤其在需要避免水分、化學(xué)溶劑、高應(yīng)力損傷以及清洗難以觸及區(qū)域的應(yīng)用中具有不可替代的優(yōu)勢。它非常適合:高可靠性要求的領(lǐng)域(航空航天、醫(yī)療設(shè)備、汽車電子)。包含對水或溶劑敏感的元件的PCBA。帶有BGA、QFN等底部焊點器件的高密度板卡。在線清洗和返工維修場景。然而,成功應(yīng)用的關(guān)鍵在于充分理解其原理、優(yōu)勢與局限,根據(jù)具體的PCBA設(shè)計、元件類型和污染物特性,仔細(xì)選擇設(shè)備、優(yōu)化工藝參數(shù)(壓力、顆粒尺寸、距離、角度),并做好防護(hù)和污染物收集。在應(yīng)用前,強(qiáng)烈建議在報廢板或代表性樣品上進(jìn)行嚴(yán)格的工藝驗證和可靠性測試。對于包含鋰電池、特殊熱敏或機(jī)械脆弱元件的板卡,需格外謹(jǐn)慎評估或?qū)で筇娲桨浮U憬镜馗杀逑创砩谈杀逑吹墓δ芰钊梭@喜,可清潔各種材質(zhì)表面。流程有序高效,優(yōu)勢明顯。

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酷爾森的干冰清洗技術(shù)在芯片行業(yè)應(yīng)用的**優(yōu)勢無殘留、無二次污染:干冰顆粒在撞擊瞬間升華(固態(tài)→氣態(tài)),只留下被去除的污染物需要吸走,不會引入任何新的化學(xué)殘留、水跡或介質(zhì)殘留。這對防止晶圓表面污染和設(shè)備內(nèi)部化學(xué)干擾至關(guān)重要。非研磨性、非破壞性:干冰顆粒質(zhì)地柔軟,在合理的工藝參數(shù)下(壓力、流量、距離、角度),其清潔作用主要依靠熱沖擊效應(yīng)(使污染物脆化收縮)和動能沖擊(剝離),而非硬性摩擦。因此,對大多數(shù)金屬、陶瓷、硬質(zhì)塑料等基材表面損傷風(fēng)險極低,保護(hù)昂貴的精密部件。無需拆卸設(shè)備(在線清潔):干冰噴射可以通過設(shè)備原有的端口或開口進(jìn)行,實現(xiàn)原位清潔。這**減少了設(shè)備停機(jī)時間,提高了生產(chǎn)效率,避免了因頻繁拆卸組裝帶來的損壞風(fēng)險和精度損失。干燥清潔:整個過程完全干燥,不涉及任何液體或濕氣。避免了水洗帶來的干燥時間長、可能引起的腐蝕、短路(對帶電或敏感部件尤其重要)以及水痕殘留問題。環(huán)保性:干冰是食品級二氧化碳的固體形態(tài),來源于工業(yè)副產(chǎn)品回收利用。清潔過程不產(chǎn)生額外的有害化學(xué)廢物(只需處理收集的污染物本身),符合嚴(yán)格的環(huán)保法規(guī)和Fab廠的環(huán)境要求。無VOC排放。

封裝測試環(huán)節(jié):保障芯片互連與可靠性封裝是芯片與外部電路連接的關(guān)鍵環(huán)節(jié),污染物會導(dǎo)致引線鍵合失效、封裝密封性下降,干冰清洗在此環(huán)節(jié)聚焦于 “接觸面潔凈度” 提升:1. 引線鍵合前的焊盤清潔清潔對象:芯片(Die)的焊盤(Au、Cu、Al 焊盤)、引線框架的焊區(qū)。污染問題:焊盤表面可能存在氧化層(如 Al?O?)、有機(jī)污染物(光刻膠殘留、手指印油脂),會導(dǎo)致鍵合引線(金絲、銅絲)與焊盤的結(jié)合強(qiáng)度下降(鍵合拉力不足),甚至出現(xiàn)虛焊,影響芯片導(dǎo)電性和可靠性。干冰清洗作用:以低壓力(0.1-0.2MPa)噴射超細(xì)干冰顆粒,精細(xì)去除焊盤表面的氧化層和有機(jī)污染物,且不損傷焊盤(焊盤厚度通常* 1-5μm)。相比傳統(tǒng)等離子清洗,酷爾森icestorm干冰清洗可去除更深的微小凹坑內(nèi)的污染物,且無等離子體可能帶來的焊盤表面損傷(如 Cu 焊盤的晶粒粗化)。干冰清洗的功能強(qiáng)大可靠,清潔速度快。流程科學(xué)高效,優(yōu)勢眾多。

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應(yīng)用時的關(guān)鍵注意事項與挑戰(zhàn)沖擊力控制:噴射壓力、干冰顆粒大小和噴射距離需要根據(jù)PCBA的具體情況(元件密度、脆弱程度、污染物類型)進(jìn)行優(yōu)化。過高的壓力或過近的距離可能損壞非常精細(xì)的元件(如跳線、小電阻/電容)或已受損的焊點。低溫效應(yīng):極低溫可能對一些特定元件產(chǎn)生影響:電解電容: 低溫可能導(dǎo)致電解質(zhì)性能暫時變化(通??苫謴?fù)),需謹(jǐn)慎評估或局部防護(hù)。塑料連接器/外殼: 某些低溫下變脆的塑料可能因沖擊而破裂。熱敏元件/標(biāo)簽: 極低溫可能影響其性能或粘性。鋰電池: ***禁止直接清洗帶有鋰電池的PCBA,低溫會嚴(yán)重?fù)p壞電池。清洗后板卡溫度會迅速回升到室溫,熱沖擊對焊點本身影響通常很小,但需考慮元件內(nèi)部結(jié)構(gòu)差異。污染物收集:必須配備有效的抽吸系統(tǒng)(集成在干冰清洗設(shè)備或外接)來及時吸走剝離的污染物和升華的CO2氣體,防止污染物重新沉降或工作區(qū)域CO2濃度過高。靜電風(fēng)險:高速氣流和顆粒摩擦可能產(chǎn)生靜電。對于高敏感器件(如某些MOSFET),應(yīng)評估ESD風(fēng)險并采取適當(dāng)防護(hù)措施(設(shè)備接地、離子風(fēng))。設(shè)備成本與操作:干冰清洗設(shè)備(干冰制造機(jī)或儲罐、噴射機(jī))的初期投資高于一些傳統(tǒng)方法。操作需要培訓(xùn)以掌握比較好參數(shù)。食品行業(yè),清潔和衛(wèi)生是關(guān)鍵!酷爾森干冰清洗不使用化學(xué)試劑,并能有效清潔儀器,為食品行業(yè)做出巨大貢獻(xiàn)。遼寧氣動干冰清洗哪里買

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極片輥壓、分切后的表面清潔清潔對象:輥壓后的極片表面、分切后的極片邊緣。污染問題:輥壓過程中極片表面可能殘留微量電解液(預(yù)涂時)或粉塵;分切(激光分切或機(jī)械分切)后邊緣易產(chǎn)生毛刺、粉末,若殘留會導(dǎo)致電芯疊片 / 卷繞時短路風(fēng)險升**冰清洗作用:以低壓力(0.1-0.3MPa)噴射干冰,可精細(xì)去除極片表面附著的粉塵和細(xì)小毛刺,且不損傷極片(極片厚度通常* 10-100μm),避免傳統(tǒng)毛刷清潔可能產(chǎn)生的二次污染或機(jī)械損傷。電芯組裝環(huán)節(jié)的清潔電芯組裝(疊片 / 卷繞、封裝、注液前)對環(huán)境潔凈度要求極高,任何雜質(zhì)(如金屬碎屑、粉塵、油污)都可能引發(fā)微短路或熱失控。1. 疊片 / 卷繞工裝與夾具清潔清潔對象:疊片臺、定位夾具、卷繞機(jī)導(dǎo)輥、隔膜導(dǎo)輪等。污染問題:極片搬運過程中,工裝表面易附著極片粉末(如石墨、金屬氧化物)、隔膜碎屑或油污,導(dǎo)致極片定位偏移、隔膜褶皺,影響電芯對齊度。酷爾森icestorm干冰清洗作用:非接觸式清潔,可深入夾具縫隙和導(dǎo)輪凹槽,徹底去除粉末和油污,且干冰升華后無殘留,無需擔(dān)心污染物落入電芯內(nèi)部,保障疊片 / 卷繞精度。遼寧便攜式干冰清洗銷售