超精密加工主要包括三個(gè)領(lǐng)域:超精密切削加工如金剛石刀具的超精密切削,可加工各種鏡面。它已成功地解決了用于激光核聚變系統(tǒng)和天體望遠(yuǎn)鏡的大型拋物面鏡的加工。超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盤的涂層表面加工和大規(guī)模集成電路基片的加工。超精密特種加工如大規(guī)模集成電路芯片上的圖形是用電子束、離子束刻蝕的方法加工,線寬可達(dá)0.1μm。如用掃描隧道電子顯微鏡(STM)加工,線寬可達(dá)2~5nm。超精密加工是指亞微米級(jí)(尺寸誤差為0.3~0.03μm,表面粗糙度為Ra0.03~0.005μm)和納米級(jí)(精度誤差為0.03μm,表面粗糙度小于 Ra0.005μm)精度的加工。實(shí)現(xiàn)這些加工所采取的工藝方法和技術(shù)措施,則稱為超精加工技術(shù)。加之測(cè)量技術(shù)、環(huán)境保障和材料等問題,人們把這種技術(shù)總稱為超精工程。激光超精密加工技術(shù)領(lǐng)域,全球有多家廠商參與競(jìng)爭(zhēng)并提供各種不同類型的設(shè)備。主要廠商集中在亞洲、德國(guó)等。半導(dǎo)體超精密機(jī)器人零件
超精密加工技術(shù)市場(chǎng)是國(guó)家高技術(shù)集中的市場(chǎng),它既是高代價(jià)、高投入的工藝技術(shù),又是高增值、高回報(bào)的工藝技術(shù),世界工業(yè)先進(jìn)國(guó)家都把它放在國(guó)家技術(shù)和經(jīng)濟(jì)振興的重要位置。試舉幾例。(1)超精密零件加工。例如慣性導(dǎo)航儀器系統(tǒng)中的氣浮陀螺的浮子及支架、氣浮陀螺馬達(dá)軸承等零件的尺寸精度、圓度和圓柱度都要求達(dá)到亞微米級(jí)精度;人造衛(wèi)星儀器軸承是真空無潤(rùn)滑軸承,其孔和軸的表面粗糙度Rα達(dá)到1nm,圓度和圓柱度均為納米級(jí)精度,這些零件都是用超精密金剛石刀具鏡面車削加工的。精密液壓控制系統(tǒng)中的精密伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級(jí),它是用超精密磨削方法加工的。進(jìn)口超精密相機(jī)模組鏡頭切割器激光超精密打孔是將光斑直徑縮小到微米級(jí),從而獲得高的激光功率密度,幾乎可以在任何材料實(shí)行激光打孔。
微泰憑借30年的精密加工技術(shù)和銳利刀具的邊緣技術(shù),利用激光的微孔加工技術(shù),生產(chǎn)了客戶所需的各種產(chǎn)品。除了零件,我們還生產(chǎn)和供應(yīng)需要裝配的部件。與液晶面板(LCD)這樣的大尺寸元件相比,微泰更傾向于半導(dǎo)體/MLCC/新能源電池等更小、更精密的領(lǐng)域,并且在尚未成功國(guó)產(chǎn)化的元件的國(guó)產(chǎn)化方面也取得了很大成就。從塑料樹脂系列開始,我們生產(chǎn)和供應(yīng)的材料幾乎與客戶提供的所有圖紙相符,包括不銹鋼、碳化鎢、陶瓷和MMC材料,沒有限制。應(yīng)用于多個(gè)部件其他半導(dǎo)體/高水平平面度的金屬板、由微孔構(gòu)成的金屬板、超精密加工件、多數(shù)部件組成的設(shè)備配件、組裝件、半導(dǎo)體/MLCC/電池行業(yè)所需超精密元件。真空卡盤,晶圓卡盤、模組組裝治具。倒裝芯片鍵合TOOL。
微泰利用先進(jìn)的飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨(dú)有ELID(電解在線砂輪修正技術(shù)),飛秒激光拋光技術(shù),生產(chǎn)各種超精密零部件。用于半導(dǎo)體加工真空板薄膜真空板倒裝芯片工藝真空塊MLCC貼合用真空板薄膜芯片粘接工具,鏡頭模組組裝治具。用自主自主技術(shù),飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng),加工出來的微孔不同于連續(xù)波激光,納秒激光,皮秒激光加工出來的微孔,平整,熱變形和物理變形很小,可以做到,1.孔徑至少為20微米2.能夠加工MIN0.3微米孔距3.MLCC貼合真空板4.在一塊真空板上,能夠處理多達(dá)八十萬個(gè)孔5.各種形狀的孔6.同一截面的不規(guī)則孔7.可混合加工不規(guī)則尺寸的孔有問題請(qǐng)聯(lián)系,上海安宇泰環(huán)保科技有限公司激光超精密加工質(zhì)量的影響因素少,加工精度高,在一般情況下均優(yōu)于其它傳統(tǒng)的加工方法。
我公司利用自主技術(shù),飛秒激光螺旋鉆孔技術(shù),可以在各種金屬,陶瓷,藍(lán)寶石,超硬材料,PCD上加工各種形狀的微孔,MIN可加工5微米的孔,MIN孔距可做到0.3微米,而且可以對(duì)孔壁進(jìn)行拋光,使之孔壁光滑。飛秒激光不同于納秒激光,微孔平整,熱變形和物理變形很小。這是納秒激光加工件,這是飛秒激光加工件。我公司飛秒激光螺旋鉆孔技術(shù)為電子,光學(xué),機(jī)械,化學(xué),醫(yī)療等不同行業(yè)的高精度微孔需求,提供高精度加工服務(wù)。上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰?,利用韓國(guó)先進(jìn)技術(shù),飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨(dú)有ELID(電解在線砂輪修正技術(shù)),飛秒激光拋光技術(shù),生產(chǎn)各種超精密零部件。MLCC方面有三星電機(jī),日本村田等很多企業(yè)的業(yè)績(jī),是韓國(guó)三星主要供應(yīng)商。主要生產(chǎn):1,MLCC吸膜板,2,各種MLCC刀具,刀片。3,MLCC掩模板陣列遮罩板。4,測(cè)包機(jī)分度盤。5,各種MLCC設(shè)備精密零件。MLCC吸膜板,用于在MLCC疊層機(jī)和印刷機(jī)上,通過抽真空移動(dòng)0.8微米的生陶瓷片。MLCC吸膜板與MLCC切割刀片在韓國(guó),技術(shù)和質(zhì)量方面有壓倒性優(yōu)勢(shì),有問題請(qǐng)聯(lián)系上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰居捎诰雀叩木壒?,超精密加工常應(yīng)用在光學(xué)元件。也會(huì)應(yīng)用在機(jī)械工業(yè)。進(jìn)口超精密相機(jī)模組鏡頭切割器
改變基材成分的超精密加工包括激光熔覆、激光電鍍、激光合金化和激光氣相沉積等應(yīng)用。半導(dǎo)體超精密機(jī)器人零件
微泰,采用先進(jìn)的飛秒激光的高速螺旋鉆削自主技術(shù),進(jìn)行半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的微孔加工,MIN可做到5微米的微孔,公差可做到±2微米,孔距可做到0.3微米。還可以進(jìn)行MAX10度角的倒錐孔和各種幾何形狀的微孔,飛秒激光利用相對(duì)較短的激光脈沖,熱損傷很小,加工對(duì)象沒有物性變形層,表面平整,實(shí)現(xiàn)超精密微孔加工。MLCC層壓的真空板相同區(qū)域內(nèi)可加工不規(guī)則位置的孔;可以混合加工不規(guī)則尺寸,孔間距可達(dá)0.3μm;可加工多達(dá)800,000個(gè)孔,用于MLCC印刷吸膜板,MLCC疊層吸膜板,吸附板。半導(dǎo)體超精密機(jī)器人零件