熱紅外顯微鏡能高效檢測微尺度半導(dǎo)體電路及MEMS器件的熱問題。在電路檢測方面，這套熱成像顯微鏡可用于電路板失效分析，且配備了電路板檢測用軟件包“模型比較”，能識別缺陷元件；同時還可搭載“缺陷尋找”軟件模塊，專門探測不易發(fā)現(xiàn)的短路問題并定位短路點。在MEMS研發(fā)領(lǐng)域，空間溫度分布與熱響應(yīng)時間是微反應(yīng)器、微型熱交換器、微驅(qū)動器、微傳感器等MEMS器件的關(guān)鍵參數(shù)。目前，非接觸式測量MEMS器件溫度的方法仍存在局限，而紅外成像顯微鏡可提供20微米空間分辨率的熱分布圖像，是迄今為止測量MEMS器件熱分布的高效工具。
熱紅外顯微鏡能夠探測到亞微米級別的熱異常，檢測精度極高 。直銷熱紅外顯微鏡選購指南

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 作為一種能夠捕捉微觀尺度熱輻射信號的精密儀器，其優(yōu)勢在于對材料、器件局部溫度分布的高空間分辨率觀測。

然而，在面對微弱熱信號（如納米尺度結(jié)構(gòu)的熱輻射、低功耗器件的散熱特性等）時，傳統(tǒng)熱成像方法易受環(huán)境噪聲、背景輻射的干擾，難以實現(xiàn)精細測量。鎖相熱成像技術(shù)的引入，為熱紅外顯微鏡突破這一局限提供了關(guān)鍵解決方案。通過鎖相熱成像技術(shù)的賦能，熱紅外顯微鏡從 “可見” 微觀熱分布升級為 “可測” 納米級熱特性，為微觀尺度熱科學(xué)研究與工業(yè)檢測提供了不可或缺的工具。 鎖相熱紅外顯微鏡探測器芯片復(fù)雜度提升對缺陷定位技術(shù)的精度與靈敏度提出更高要求。

熱紅外顯微鏡和紅外顯微鏡并非同一事物，二者是包含與被包含的關(guān)系。紅外顯微鏡是個廣義概念，涵蓋利用0.75-1000微米紅外光進行分析的設(shè)備，依波長分近、中、遠紅外等，通過樣品對紅外光的吸收、反射等特性分析化學(xué)成分，比如識別材料中的官能團，應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)等領(lǐng)域。而熱紅外顯微鏡是其分支，專注7-14微米的熱紅外波段，無需外部光源，直接探測樣品自身的熱輻射，依據(jù)黑體輻射定律生成溫度分布圖像，主要用于研究溫度分布與熱特性，像定位電子芯片的熱點、分析復(fù)合材料熱傳導(dǎo)均勻性等。前者側(cè)重成分分析，后者聚焦熱特性研究。

在國內(nèi)失效分析設(shè)備領(lǐng)域，專注于原廠研發(fā)與生產(chǎn)的企業(yè)數(shù)量相對較少，尤其在熱紅外檢測這類高精度細分領(lǐng)域，具備自主技術(shù)積累的原廠更為稀缺。這一現(xiàn)狀既源于技術(shù)門檻 —— 需融合光學(xué)、紅外探測、信號處理等多學(xué)科技術(shù)，也受限于市場需求的專業(yè)化程度，導(dǎo)致多數(shù)企業(yè)傾向于代理或集成方案。

致晟光電正是國內(nèi)少數(shù)深耕該領(lǐng)域的原廠之一。不同于單純的設(shè)備組裝，其從中樞技術(shù)迭代入手，在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎(chǔ)上進化出熱紅外顯微鏡，形成從光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計、信號算法研發(fā)到整機制造的完整能力。這種原廠基因使其能深度理解國內(nèi)半導(dǎo)體、材料等行業(yè)的失效分析需求，例如針對先進制程芯片的微小熱信號檢測、國產(chǎn)新材料的熱特性研究等場景，提供更貼合實際應(yīng)用的設(shè)備與技術(shù)支持，成為本土失效分析領(lǐng)域不可忽視的自主力量。 在半導(dǎo)體制造中，通過逐點熱掃描篩選熱特性不一致的晶圓，提升良率。

致晟光電在推動產(chǎn)學(xué)研一體化進程中，積極開展校企合作。公司依托南京理工大學(xué)光電技術(shù)學(xué)院，專注開發(fā)基于微弱光電信號分析的產(chǎn)品及應(yīng)用。雙方聯(lián)合攻克技術(shù)難題，不斷優(yōu)化實時瞬態(tài)鎖相紅外熱分析系統(tǒng)（RTTLIT），使該系統(tǒng)溫度靈敏度可達0.0001℃，功率檢測限低至1uW，部分功能及參數(shù)優(yōu)于進口設(shè)備。此外，致晟光電還與其他高校建立合作關(guān)系，搭建起學(xué)業(yè)-就業(yè)貫通式人才孵化平臺。為學(xué)生提供涵蓋研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)實踐、項目管理全鏈條的育人平臺，輸送了大量實踐能力強的專業(yè)人才，為企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新注入活力。通過建立科研成果產(chǎn)業(yè)孵化綠色通道，高校的前沿科研成果得以快速轉(zhuǎn)化為實際生產(chǎn)力，實現(xiàn)了高校科研資源與企業(yè)市場轉(zhuǎn)化能力的優(yōu)勢互補。

熱紅外顯微鏡可捕捉物體熱輻射，助力電子元件熱分布與散熱性分析。顯微熱紅外顯微鏡功能

熱紅外顯微鏡對集成電路進行熱檢測，排查內(nèi)部隱藏故障 。直銷熱紅外顯微鏡選購指南

非破壞性分析（NDA）以非侵入方式分析樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)和性能，無需切割、拆解或化學(xué)處理，能保留樣品完整性，為后續(xù)研究留有余地，在高精度、高成本的半導(dǎo)體領(lǐng)域作用突出。

無損分析，通過捕捉樣品自身紅外熱輻射成像，全程無接觸，無需對晶圓、芯片等進行破壞性處理。在半導(dǎo)體制造中，可識別晶圓晶體缺陷；封裝階段，能檢測焊接點完整性或封裝層粘結(jié)質(zhì)量；失效分析時，可定位內(nèi)部短路或斷裂區(qū)域的隱性熱信號，為根源分析提供依據(jù)，完美適配半導(dǎo)體行業(yè)對高價值樣品的保護需求。 直銷熱紅外顯微鏡選購指南