過程跟蹤使用檢查設(shè)備來監(jiān)視生產(chǎn)過程。典型地包括詳細(xì)的缺陷分類和元件貼放偏移信息。當(dāng)產(chǎn)品可靠性很重要、低混合度的大批量制造、和元件供應(yīng)穩(wěn)定時(shí),制造商優(yōu)先采用這個(gè)目標(biāo)。這經(jīng)常要求把檢查設(shè)備放置到生產(chǎn)線上的幾個(gè)位置,在線地監(jiān)控具體生產(chǎn)狀況,并為生產(chǎn)工藝的調(diào)整提供必要的依據(jù)。雖然AOI可用于生產(chǎn)線上的多個(gè)位置,各個(gè)位置可檢測特殊缺陷,但AOI檢查設(shè)備應(yīng)放到一個(gè)可以盡早識(shí)別和改正**多缺陷的位置。有三個(gè)檢查位置是主要的:運(yùn)用豐富的多功能檢測算法和二元或灰度水平光學(xué)成像處理技術(shù)進(jìn)行檢測.工業(yè)園區(qū)整套自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備哪里買
由于缺乏無鉛元件,轉(zhuǎn)到使用無鉛元件是分階段進(jìn)行的。在2004年,由于要求電子產(chǎn)品的體積越來越小,迫使制造商***地用0402元件來取代0603元件和0805元件。工藝條件除了普遍使用的0402元件,印刷電路板的***次合格率(FPY)必須達(dá)到95%,而且必須根據(jù)印刷電路協(xié)會(huì)(IPC)的2級(jí)標(biāo)準(zhǔn)來檢測缺陷。例如,在有608個(gè)焊點(diǎn)的168元件的情況下,相當(dāng)于要求誤報(bào)率是百萬分之65。為了達(dá)到FPY的要求,在檢測缺陷時(shí)必須考慮以下條件:元件長度的公差、元件供應(yīng)商、貼片公差、在25 個(gè)AOI系統(tǒng)上的全球檢測數(shù)據(jù)庫、有80個(gè)獨(dú)特產(chǎn)品的全球檢測數(shù)據(jù)庫、無鉛焊料、不同的電路板供應(yīng)商以及檢測質(zhì)量要達(dá)到IPC的2級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。太倉通用自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備批量定制制定設(shè)計(jì)方針,可以有效地簡化檢查和降低生 產(chǎn)成本。
● 對(duì)于不同產(chǎn)品的AOI全球檢查庫,有可能在當(dāng)?shù)剡M(jìn)行調(diào)整──這是AOI軟件必備的特性?!?貼片公差——進(jìn)料器常規(guī)的維護(hù)和校準(zhǔn)。● 確定檢查質(zhì)量:IPC標(biāo)準(zhǔn)2級(jí)——必須允許使用朝下的電阻器。組件趐起和共面性的檢測必須可靠。關(guān)于元件長度公差,不同的組件供應(yīng)商、電路板和無鉛焊料的供應(yīng)商都不可能沒有任何直接的影響。優(yōu)良的AOI程序應(yīng)該能夠應(yīng)付這些這影響。如果這些個(gè)別點(diǎn)的變化可以保持不變,那么就能夠相當(dāng)大地簡化AOI編程。經(jīng)研究得到的結(jié)論是,由于無鉛產(chǎn)生的影響,圖形對(duì)照系統(tǒng)無法得到適合的檢查結(jié)果,這是因?yàn)楹细竦臉悠纷兓蟆?/p>
缺陷類型:微粒缺陷(如異物污染)圖形缺陷(如光刻圖案偏移) [1-3]2.檢測精度:可實(shí)現(xiàn)0.2微米級(jí)缺陷的識(shí)別,滿足45納米工藝節(jié)點(diǎn)的質(zhì)量控制需求 [1-3]。吞吐量:每小時(shí)處理20片300毫米晶圓(基于2021年技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)) [1] [3]適用工藝:45納米及更高制程的集成電路制造 [1-3]主要用于半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的在線缺陷檢測,覆蓋晶圓前道制程中的關(guān)鍵工藝步驟,確保芯片良率與可靠性 [1-3]。上海集成電路研發(fā)中心有限公司自2011年起使用KLA-Tencor Puma9150型號(hào)設(shè)備(截至2020年),同期配備頻譜分析儀、晶邊缺陷檢查設(shè)備等科研儀器 [2-3]?;亓骱负髾z查提供高度的安全性,因?yàn)樗R(shí)別由錫膏印刷、元件貼裝和回流過程引起的錯(cuò)誤。
更加可行的方法是,取出確定每道工藝和元件變化的特性。這些變化可以分成不同的等級(jí)。如果在使用的工藝中,出現(xiàn)了一個(gè)新的變化,就要增加一個(gè)級(jí)別,來保證檢查的精確性。所有認(rèn)識(shí)到的和已知的缺陷都儲(chǔ)存起來,他們的類型和圖片可以用于AOI系統(tǒng)和全球數(shù)據(jù)庫里的檢查程序。我們沒有必要把一塊不同缺陷的電路板保存起來用于詳細(xì)的檢查。用AOI軟件核實(shí)真正的缺陷AOI軟件中有一個(gè)綜合性的驗(yàn)證功能,它能減少檢查的誤報(bào),保證檢測程序無缺陷。它可以檢查儲(chǔ)存起來的有缺陷的樣品,例如,修理站存放的樣品,以及印刷了焊膏的空白印刷電路板。多工位檢測設(shè)備可同步完成托盤正反兩面12項(xiàng)缺陷檢測,單日處理量超過5000件 [3]。吳中區(qū)本地自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備銷售電話
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錫膏印刷之后如果錫膏印刷過程滿足要求,那么ICT發(fā)現(xiàn)的缺陷數(shù)量可大幅度的減少。典型的印刷缺陷包括以下幾點(diǎn):A.焊盤上焊錫不足。B.焊盤上焊錫過多。C.焊錫對(duì)焊盤的重合不良。D.焊盤之間的焊錫橋。在ICT上,相對(duì)這些情況的缺陷概率直接與情況的嚴(yán)重性成比例。輕微的少錫很少導(dǎo)致缺陷,而嚴(yán)重的情況,如根本無錫,幾乎總是在ICT造成缺陷。焊錫不足可能是元件丟失或焊點(diǎn)開路的一個(gè)原因。盡管如此,決定哪里放置AOI需要認(rèn)識(shí)到元件丟失可能是其它原因下發(fā)生的,這些原因必須放在檢查計(jì)劃內(nèi)。這個(gè)位置的檢查**直接地支持過程跟蹤和特征化。這個(gè)階段的定量過程控制數(shù)據(jù)包括,印刷偏移和焊錫量信息,而有關(guān)印刷焊錫的定性信息也會(huì)產(chǎn)生。工業(yè)園區(qū)整套自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備哪里買
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