c、水坑(旋覆浸沒)式顯影(Puddle Development)。噴覆足夠(不能太多,**小化背面濕度)的顯影液到硅片表面,并形成水坑形狀...
后烘方法:熱板,110~130C,1分鐘。目的:a、減少駐波效應(yīng);b、激發(fā)化學(xué)增強(qiáng)光刻膠的PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護(hù)基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)并移除基...
1:可用機(jī)電式驅(qū)動器或液壓缸作為驅(qū)動動力。2:快速、精確地對卷材進(jìn)行定位,使用的卷材寬度可達(dá)1930mm(76.0″)。3:低摩擦滾珠軸套和...
光致抗蝕劑,簡稱光刻膠或抗蝕劑,指光照后能改變抗蝕能力的高分子化合物。光蝕劑分為兩大類。①正性光致抗蝕劑:受光照部分發(fā)生降解反應(yīng)而能為顯影液...
張家港中賀自動化科技有限公司成立于2014年02月21日,注冊地位于張家港市鳳凰鎮(zhèn)雙龍村,法定代表人為劉鵬。經(jīng)營范圍包括從事機(jī)電、光電產(chǎn)品與設(shè)備及配套軟件的研發(fā)制造,銷售自產(chǎn)產(chǎn)品,并提供相關(guān)技術(shù)咨詢和技術(shù)服務(wù);從事上述產(chǎn)品批發(fā)和進(jìn)出口業(yè)務(wù)(不涉及國營貿(mào)易管理商品,涉及配額、許可證管理商品的,按國家有關(guān)規(guī)定辦理申請)。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動)