從傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡到熱紅外顯微鏡的演變，是其技術(shù)團(tuán)隊(duì)對(duì)微觀熱分析需求的深度洞察與持續(xù)創(chuàng)新的結(jié)果。它既延續(xù)了通過(guò)紅外熱輻射解析熱行為的原理，又通過(guò)全尺度觀測(cè)、高靈敏度檢測(cè)、場(chǎng)景化分析等創(chuàng)新，突破了傳統(tǒng)技術(shù)的邊界。如今，這款設(shè)備已成為半導(dǎo)體失效分析、新材料熱特性研究、精密器件研發(fā)等領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)工具，為行業(yè)在微觀熱管控、缺陷排查、性能優(yōu)化等方面提供了更高效的技術(shù)支撐，推動(dòng)微觀熱分析從 “可見(jiàn)” 向 “可知”“可控” 邁進(jìn)。熱紅外顯微鏡利用鎖相技術(shù)，有效提升熱成像的清晰度與準(zhǔn)確性 。無(wú)損熱紅外顯微鏡工作原理

EMMI 技術(shù)基于半導(dǎo)體器件在工作時(shí)因電子 - 空穴復(fù)合產(chǎn)生的光子輻射現(xiàn)象，通過(guò)高靈敏度光學(xué)探測(cè)器捕捉微弱光子信號(hào)，能夠以皮安級(jí)電流精度定位漏電、短路等微觀缺陷。這種技術(shù)尤其適用于檢測(cè)芯片內(nèi)部的柵極氧化層缺陷、金屬導(dǎo)線(xiàn)短路等肉眼難以察覺(jué)的故障，為工程師提供精確的失效位置與成因分析。

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）則聚焦于器件發(fā)熱與功能異常的關(guān)聯(lián)，利用紅外熱成像技術(shù)實(shí)時(shí)呈現(xiàn)半導(dǎo)體器件的熱分布。在高集成度芯片中，局部過(guò)熱可能引發(fā)性能下降甚至損壞，熱紅外顯微鏡通過(guò)捕捉0.1℃級(jí)別的溫度差異，可快速鎖定因功率損耗、散熱不良或設(shè)計(jì)缺陷導(dǎo)致的熱失效隱患。兩者結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了從電學(xué)故障到熱學(xué)異常的全維度失效診斷，極大提升了分析效率與準(zhǔn)確性。 半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡工作原理熱紅外顯微鏡在 3D 封裝檢測(cè)中，通過(guò)熱傳導(dǎo)分析確定內(nèi)部失效層 。

ThermalEMMI（熱紅外顯微鏡）是一種先進(jìn)的非破壞性檢測(cè)技術(shù)，主要用于精細(xì)定位電子設(shè)備中的熱點(diǎn)區(qū)域，這些區(qū)域通常與潛在的故障、缺陷或性能問(wèn)題密切相關(guān)。該技術(shù)可在不破壞被測(cè)對(duì)象的前提下，捕捉電子元件在工作狀態(tài)下釋放的熱輻射與光信號(hào)，為工程師提供關(guān)鍵的故障診斷線(xiàn)索和性能分析依據(jù)。在諸如復(fù)雜集成電路、高性能半導(dǎo)體器件以及精密印制電路板（PCB）等電子組件中，ThermalEMMI能夠快速識(shí)別出異常發(fā)熱或發(fā)光的區(qū)域，幫助工程師迅速定位問(wèn)題根源，從而及時(shí)采取有效的維修或優(yōu)化措施。

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 也是科研與教學(xué)領(lǐng)域的利器，其設(shè)備能捕捉微觀世界的熱信號(hào)。它將紅外探測(cè)與顯微技術(shù)結(jié)合，呈現(xiàn)物體表面溫度分布，分辨率達(dá)微米級(jí)，可觀察半導(dǎo)體芯片熱點(diǎn)、電子器件熱分布等。非接觸式測(cè)量是其一大優(yōu)勢(shì)，無(wú)需與被測(cè)物體直接接觸，避免了對(duì)樣品的干擾，適用于多種類(lèi)型的樣品檢測(cè)。實(shí)時(shí)成像功能可追蹤動(dòng)態(tài)熱變化，如材料相變、化學(xué)反應(yīng)熱釋放。在高校，熱紅外顯微鏡助力多學(xué)科實(shí)驗(yàn)；在企業(yè)，為產(chǎn)品研發(fā)和質(zhì)量檢測(cè)提供支持，推動(dòng)各領(lǐng)域創(chuàng)新突破。 熱紅外顯微鏡在 SiC/GaN 功率器件檢測(cè)中，量化評(píng)估襯底界面熱阻分布。

熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)的突出優(yōu)勢(shì)一：

熱紅外顯微鏡（Thermal emmi ）能夠檢測(cè)到極其微弱的熱輻射和光發(fā)射信號(hào)，其靈敏度通?？梢赃_(dá)到微瓦甚至納瓦級(jí)別。同時(shí)，它還具有高分辨率的特點(diǎn)，能夠分辨出微小的熱點(diǎn)區(qū)域，分辨率可以達(dá)到微米甚至納米級(jí)別。具備極高的探測(cè)靈敏度，能夠捕捉微瓦級(jí)甚至納瓦級(jí)的熱輻射與光發(fā)射信號(hào)，適用于識(shí)別早期故障及微小異常。同時(shí)，該技術(shù)具有優(yōu)異的空間分辨能力，能夠準(zhǔn)確定位尺寸微小的熱點(diǎn)區(qū)域，其分辨率可達(dá)微米級(jí)，部分系統(tǒng)也已經(jīng)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)識(shí)別。通過(guò)結(jié)合熱圖像與光發(fā)射信號(hào)分析，熱紅外顯微鏡為工程師提供了精細(xì)、直觀的診斷工具，大幅提升了故障排查與性能評(píng)估的效率和準(zhǔn)確性。 熱紅外顯微鏡的動(dòng)態(tài)功耗分析功能，同步記錄 100MHz 高頻信號(hào)下的熱響應(yīng)曲線(xiàn)。無(wú)損熱紅外顯微鏡廠家

熱紅外顯微鏡的 AI 智能分析模塊，自動(dòng)標(biāo)記異常熱斑并匹配歷史失效數(shù)據(jù)庫(kù)。無(wú)損熱紅外顯微鏡工作原理

致晟光電在推動(dòng)產(chǎn)學(xué)研一體化進(jìn)程中，積極開(kāi)展校企合作。公司依托南京理工大學(xué)光電技術(shù)學(xué)院，專(zhuān)注開(kāi)發(fā)基于微弱光電信號(hào)分析的產(chǎn)品及應(yīng)用。雙方聯(lián)合攻克技術(shù)難題，不斷優(yōu)化實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相紅外熱分析系統(tǒng)（RTTLIT），使該系統(tǒng)溫度靈敏度可達(dá)0.0001℃，功率檢測(cè)限低至1uW，部分功能及參數(shù)優(yōu)于進(jìn)口設(shè)備。此外，致晟光電還與其他高校建立合作關(guān)系，搭建起學(xué)業(yè)-就業(yè)貫通式人才孵化平臺(tái)。為學(xué)生提供涵蓋研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)實(shí)踐、項(xiàng)目管理全鏈條的育人平臺(tái)，輸送了大量實(shí)踐能力強(qiáng)的專(zhuān)業(yè)人才，為企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新注入活力。通過(guò)建立科研成果產(chǎn)業(yè)孵化綠色通道，高校的前沿科研成果得以快速轉(zhuǎn)化為實(shí)際生產(chǎn)力，實(shí)現(xiàn)了高?？蒲匈Y源與企業(yè)市場(chǎng)轉(zhuǎn)化能力的優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)。

無(wú)損熱紅外顯微鏡工作原理