微小孔的加工一直是機械制造中的一個難點，圍繞這個問題研究人員進行了大量研究。目前可用于加工微小孔的方法有：機械加工、激光加工、電火花加工、超聲加工、電子束加工及復合加工等。有關各種方法可加工的微小孔直徑范圍已有較多的報道，而對于加工所得微小孔側壁粗糙度的研究卻比較少。隨著科學技術的發(fā)展和產(chǎn)品的日益精密化、集成化和微型化，微小孔越來越廣地應用于汽車、電子、光纖通訊和流體控制等領域，這些應用對微小孔的加工也提出了更高的要求。寧波米控機器人科技有限公司的微孔加工技術適用于醫(yī)療器械制造，滿足高潔凈度要求。山東噴絲板微孔加工

電火花能加工任何導電材料的各種不同截面形狀的小孔,小孔徑或槽寬可達5μ，尺寸精度可達2μm，表面粗糙度達Ra0.32μm，電火花小孔磨削可達Ra0.08μm，加工微小孔時電極與工件間無任何的機械力作用，所以可加工薄壁、彈性件等低剛度零件，也可在斜面上加工，還可加工一些彎孔。但是，電火花加工的速度極低，加工的成本比較高，用于加工小孔的電極銅工的制造難度較大，其電極銅工的裝夾和校準也相當困難，對于批量生產(chǎn)難度很大，只能針對極少數(shù)的小孔。寧波精密微孔加工化學蝕刻微孔加工利用特定化學試劑與材料的化學反應來蝕除材料形成微孔，大面積微孔陣列時有獨特優(yōu)勢。

在工業(yè)生產(chǎn)過程中，很多零件經(jīng)常需要加工一些小孔，像0.01mm孔徑大小的就屬于小微孔?？椎拇笮Q定了加工的難度。那么，細小的微孔是如何加工出來的呢？微孔加工，是傳統(tǒng)加工里很難的技術，屬于微細加工的一部分。這些微型小孔只有在高倍顯微鏡下才能看的到。目前微孔加工的方式有三種，分別是電火花，機械，激光。電火花加工，可以加工0.08mm直徑的微孔，但是其微孔孔壁會留下再鑄層，從而影響微孔的適用壽命，使得微孔的孔壁表面質量發(fā)生惡化。機械鉆孔，其鉆頭非常容易斷裂，而且在微孔的出口處會留下毛刺，這種毛刺會影響適用效果。激光加工，激光可以直徑非常小的孔，可至0.001mm。

微孔加工方法：電火花是微孔加工的重要組成部分，電火花微孔加工技術隨著微機械、精密機械、光學儀器等領域的不斷拓展而得到較廣的關注。電火花微孔加工以其加工中受力小、加工的孔徑和深度由調(diào)節(jié)電參數(shù)就可得到控制等優(yōu)勢，使其在各國的研究日益活躍。但是電火花加工是一個典型的慢加工，在加工微孔時表現(xiàn)得尤為明顯，時間隨著加工精度的提高而減慢。對于少量的孔如：2個或5個左右，可以使用，主要是針對模具打孔等操作，無法批量生產(chǎn)，費用高。寧波米控機器人科技有限公司的微孔加工設備采用高效除塵系統(tǒng)，保持加工環(huán)境清潔。

著超快激光加工技術的不斷發(fā)展和升級，超快激光精密加工裝備也在不斷更新迭代，并在航空、航天、汽車、電子等領域實現(xiàn)了較廣的應用，為各領域的超精細加工提供了“支點型”的技術手段。例如解決了困擾航空發(fā)動機多年的高精度低損傷“卡脖子”難題，為國產(chǎn)大飛機換上“中國心”打下堅實的基礎；解決了航天動力系統(tǒng)高精度制孔、超精密刻蝕、超精細切割的瓶頸難題，促進我國航天系統(tǒng)轉型升級；解決了汽車噴油嘴、電子柔性電路板、硬脆材料等高精度、低損傷加工難題，加快超快激光加工技術向民用領域的推廣應用。寧波米控機器人科技有限公司的微孔加工設備支持多軸聯(lián)動，實現(xiàn)復雜孔型加工。浙江激光異型孔加工

微孔加工在航空航天領域用于制造渦輪葉片冷卻孔等部件，其微孔結構有助于提升部件耐高溫與抗疲勞性能。山東噴絲板微孔加工

傳統(tǒng)的微孔加工技術主要有機械加工、超聲波打孔、化學腐蝕加工以及電火花加工等，這些技術各有各的優(yōu)點和缺點，且在工業(yè)應用中已經(jīng)相對成熟，但無法滿足更高精度的倒錐微孔加工的需求。隨著脈沖激光技術的快速發(fā)展，其高精細的加工、良好的單色性與方向性等特點，被越來越多的應用于高精度微結構成型中。激光憑借其強度、良好的方向性和相干性，再使其通過特定的光學系統(tǒng)，可將激光束聚焦為直徑幾微米的光斑，使其能量密度高達10^6～10^8W/cm2，產(chǎn)生104℃以上的高溫，材料會在10^4℃以上的溫度下迅速達到熔點，熔化成熔融物，隨著激光的繼續(xù)作用，材料溫度會繼續(xù)升高，熔融物開始汽化，產(chǎn)生蒸汽層，形成了固、液、汽三相共存狀態(tài)。由于蒸汽壓力的作用，熔融物會被噴濺出去，形成孔的初始形貌。隨著激光作用時間的增加，孔深度和孔直徑不斷增加，到激光作用完成后，未被噴濺出去的熔融物會逐漸凝固，形成重鑄層，達到加工的目的山東噴絲板微孔加工